[发明专利]一种光罩清洗装置及其清洗方法

说明书

本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，涉及光罩清洗技术领域。本发明的一种光罩清洗装置，包括机体，设置于机体内的置物台、药液浸泡槽和刷洗槽，于所述药液浸泡槽的上方固定安装有第一抓取模块，所述刷洗槽的上方固定安装有第二抓取模块，于所述药液浸泡槽对应的位置安装有第一刷洗组件，所述刷洗槽对应的位置固定安装有第二刷洗组件。本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，采用多槽自动清洗模式，能够对光罩进行多次清洗，清洗效果更好，且减少了人工操作的步骤，节省了大量人力。

技术领域

本发明涉及光罩清洗技术领域，尤其涉及一种光罩清洗装置及其清洗方法。

背景技术

垂直腔面发射激光器(VCSEL)在新的光电子领域中起着越来越重要的作用。与传统的边发射激光器不同，VCSEL是光从垂直于半导体衬底表面方向出射的一种新型半导体激光器，具有单纵模、发散角小、圆形对称光斑、耦合效率高、阈值低、调制速率高、体积小、可二维集成、可在片测试、价格便宜等很多优点。

在VCSEL生产的过程中，在作业之后，光罩会与涂完胶后的晶圆接触，使得光罩粘上光刻胶，在后续的作业时，粘有光刻胶的位置处会出现曝光异常，因此需要使用药液去除光罩表面附着的光刻胶。传统的光罩清洗方式，大多是单槽清洗模式，不仅清洗麻烦，且人工操作会导致操作人员长期暴露在有机清洗剂环境中，产生一定的危害。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于公开一种光罩清洗装置及其清洗方法，采用多槽自动清洗模式，能够对光罩进行多次清洗，清洗效果更好，且减少了人工操作的步骤，节省了大量人力。

具体的，本发明的一种光罩清洗装置，包括机体，设置于机体内的置物台、药液浸泡槽和刷洗槽，于所述药液浸泡槽的上方固定安装有第一抓取模块，所述刷洗槽的上方固定安装有第二抓取模块，于所述药液浸泡槽对应的位置安装有第一刷洗组件，所述刷洗槽对应的位置固定安装有第二刷洗组件。

进一步，所述药液浸泡槽包括第一浸洗槽和第二浸洗槽。

进一步，所述刷洗槽包括槽体，所述槽体内设置有支撑平台、夹具模块和两组纯水Bar条，所述夹具模块固定安装在槽体相对称的两侧壁上，两组所述纯水Bar条设置于夹具模块的上方，对称安装在槽体的另外两侧壁上，所述槽体内还固定安装有两组氮气喷嘴，两组所述氮气喷嘴的对称线和夹具模块的中心线相重合。

进一步，所述夹具模块包括两块对称设置的T型安装架，两块所述T型安装架上均固定安装有转动轴，且一侧所述转动轴上固定连接有转动机构，两块所述T型安装架之间固定安装有两块对称设置的支撑板，所述T型安装架上于支撑板端部对应的位置均固定安装有驱动机构，所述驱动机构与支撑板固定连接，所述T型安装架上固定安装有第一夹具单元，支撑板上固定安装有第二夹具单元。

进一步，所述第一夹具单元包括两个对称设置的第一夹具组件，所述第一夹具组件包括安装支板、驱动机构和两个夹头，所述驱动机构固定安装在T型安装架上，所述安装支板与驱动机构的自由端固定连接，两个所述夹头对称固定安装在安装支板的两端。

进一步，所述驱动机构为气缸。

进一步，所述第二夹具单元包括四个夹具组件，四个所述夹具组件分为两组，对称固定安装在支撑板上，所述夹具组件包括固定安装在支撑板上滑块和固定安装在滑块上的夹头。

进一步，所述第一抓取模块包括两条对称设置的第一滑轨，每条所述第一滑轨上均安装有第一驱动单元，两个第一驱动单元之间固定连接有第一手臂，所述第一手臂上滑动安装有第一夹具，所述第二抓取模块包括两个第二驱动单元，两个所述第二驱动单元之间固定连接有第二手臂，所述第二手臂上滑动安装有第二夹具。