[发明专利]一种等离子水洗净化设备

说明书

本申请涉及一种等离子水洗净化设备，涉及废气处理的领域，其包括机架以及设置在机架上的等离子反应装置，所述等离子反应装置包括等离子发生器、反应仓以及若干供气管道，所述等离子发生器设置在反应仓上，所述供气管道与反应仓连接，所述供气管道用于向反应仓内通入待净化的废气，所述反应仓内设置有导流板，所述导流板上开设有供等离子发生器产生的等离子电弧穿过的导流孔。本申请有效提高对废气的分解效果，且废气中的粉尘颗粒不易在管道内堆积，对废气的水洗净化程度高，保障排出废气的洁净度，减少对环境的污染。

技术领域

本申请涉及废气处理的领域，尤其是涉及一种等离子水洗净化设备。

背景技术

在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。且氟化物气体若直接排放至大气中，不仅会造成环境污染，甚至会产生温室效应，对地球暖化造成严重的影响，因此上述废气在排放前，需要将废气处理成无害的气体或生成物。

相关的公告号为CN212339288U的中国实用新型专利，其公开了一种等离子废气处理系统，属于废气处理技术领域，包括反应腔，反应腔内配合设置等离子体发生器，等离子体发生器上设置工艺进气口，反应腔底部出口与初级水洗系统配合连接，初级水洗系统出口分别与次级水洗冷却系统、过滤系统配合连接；还包括水幕系统，水幕系统的水幕法兰固定安装在反应腔顶部，水幕法兰下方形成的水幕墙位于反应腔内；水幕系统、等离子体发生器、初级水洗系统、次级水洗冷却系统、过滤系统与电气控制器电控配合。

针对上述中的相关技术，发明人认为废气通过反应腔内，反应腔内外围的废气难以与等离子发生器产生的高温等离子电弧保持充分的反应接触，使得等离子高温分解的效率较低。

发明内容

为了改善反应腔内外围的废气难以与等离子发生器产生的高温等离子电弧保持充分的反应接触，使得等离子高温分解的效率较低的问题，本申请提供一种等离子水洗净化设备。

本申请提供的一种等离子水洗净化设备采用如下的技术方案：

一种等离子水洗净化设备，包括机架以及设置在机架上的等离子反应装置，所述等离子反应装置包括等离子发生器、反应仓以及若干供气管道，所述等离子发生器设置在反应仓上，所述供气管道与反应仓连接，所述供气管道用于向反应仓内通入待净化的废气，所述反应仓内设置有导流板，所述导流板上开设有供等离子发生器产生的等离子电弧穿过的导流孔。

通过采用上述技术方案，将待净化处理的半导体废气通过供气管道通入反应仓内，等离子发生器在反应仓内产生等离子电弧，对废气进行高温电离分解，等离子发生器的等离子电弧从导流环板的导流孔中穿过，导流环板对通过反应仓内的废气起到导流作用，废气通过导流孔向反应仓外流动，使得废气能够与等离子电弧的保持充分的接触，继而提高对废气的电离分解效果。

优选的，所述供气管道靠近反应仓的一端连接有波纹管，所述供气管道通过波纹管与反应仓连通。

通过采用上述技术方案，供气管道的一端连接有波纹管，利用波纹管的可伸缩、易弯折的特点，从而方便供气管道和反应仓之间的安装连接。

优选的，所述反应仓包括反应环座以及设置在反应仓一端的端盖，所述导流板设置于反应环座内，所述端盖的内部形成有第一水冷腔，所述端盖上连接有第一水冷进管和第一水冷出管，所述第一水冷进管和第一水冷出管均与第一水冷腔连通。

通过采用上述技术方案，通过第一水冷进管和第一水冷出管可以向第一水冷腔内流通冷凝水，对端盖以及反应环座进行降温，并对等离子发生器的起到降温保护的作用，使得等离子发生器在持续高温运行时不易出现高温损坏的情况，保障等离子发生器的使用寿命。