[发明专利]一种抛光装置及其抛光方法

权利要求书

1.一种抛光装置，其特征在于：包括径向充磁的磁铁以及无磁性的载液板，所述载液板的一面靠近所述磁铁的轴向端面，所述载液板的另一面在所述磁铁的磁场作用下吸附有磁响应抛光垫，所述磁铁和所述载液板均能够转动，所述磁响应抛光垫包括吸附在所述载液板上的磁性颗粒以及由外部供给的磨粒；所述磁铁与所述载液板为同轴设置；所述磁铁的转动中心和所述载液板的转动中心重合；所述磁铁和所述载液板的中部贯通设置有通道，所述磨粒通过所述通道供给到所述磁响应抛光垫。

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于：所述磁性颗粒为绝缘羧基铁粉。

3.根据权利要求1或2所述的抛光装置，其特征在于：所述通道内设置有阴极管，工件和所述阴极管分别连接直流电源的正极和负极，所述阴极管内供给含有所述磨粒的电解液。

4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于：所述磁铁与第一电机转动连接，所述载液板与第二电机转动连接。

5.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于：所述阴极管与所述磁铁之间设置有基轴，所述磁铁与所述基轴转动连接，所述基轴连接有基板，所述基板用于连接在位置驱动装置上。

6.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于：所述工件放置在电解液槽内，所述电解液槽内的所述电解液通过泵体输送到所述阴极管内循环利用。

7.一种抛光方法，其特征在于，应用如权利要求1-6任一项所述的抛光装置，包括以下步骤：

采用径向充磁的磁铁作为旋转磁场发生源；

在所述磁铁的一端设置载液板，向所述载液板供给磁性颗粒，利用所述旋转磁场吸附所述磁性颗粒，在所述载液板上形成磁响应抛光垫；

向所述磁响应抛光垫供给磨粒，旋转所述载液板并利用所述抛光垫抛光工件表面。

8.根据权利要求7所述的抛光方法，其特征在于：将所述磨粒掺杂在电解液中，由所述磁铁和所述载液板的中部通入所述磁响应抛光垫，并在电解液和工件上分别连接直流电源的负极和正极，在所述磁响应抛光垫的两侧分别形成阴极和阳极。