[发明专利]一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种镍模具的制备方法，其特征在于，由以下步骤组成：

以铝片为阳极，以碳棒为阴极，在第一电解液中进行第一电解，得到第一中间产物；所述第一中间产物为带有氧化铝层的铝片；所述带有氧化铝层的铝片中的氧化铝层为孔状结构；所述第一电解液为体积比为1:1的柠檬酸溶液和乙二醇的混合溶液；所述柠檬酸溶液的质量浓度为3％；所述第一电解的直流电压为480V，温度为-5℃，时间为8h；所述氧化铝层的孔结构的直径为400nm，厚度为3μm；

将所述带有氧化铝层的铝片置于第一刻蚀液中进行第一刻蚀，得到表面具有微结构的铝片；所述第一刻蚀液为铬酸和磷酸的混合液；所述铬酸和磷酸的混合液中铬酸的质量浓度为1.5％，磷酸的质量浓度为6％；所述第一刻蚀的温度为100℃，时间为30min；

以所述表面具有微结构的铝片为阳极，以碳棒为阴极，在第二电解液中进行第二电解，得到第二中间产物；所述第二中间产物包括所述表面具有微结构的铝片和在所述表面具有微结构的铝片的表面的氧化铝层；所述第二电解液为体积比为1:1的柠檬酸溶液和乙二醇的混合溶液；所述柠檬酸溶液的质量浓度为3％；所述第二电解的电压为480V，温度为-5℃，时间为3h；

在所述第二中间产物的氧化铝层表面依次制备金层和铜层，得到第三中间产物；制备所述金层的方法为蒸镀，所述蒸镀的速率为3nm/s，所述金层的厚度为100nm；制备所述铜层的方法为电镀，所述电镀的电压为3V，所述电镀采用的电解液包括75g/L的硫酸铜，188g/L的H₂SO₄和0.06g/L的HCl；

将所述第三中间产物置于第二刻蚀液中进行第二刻蚀，得到第四中间产物；所述第四中间产物包括铜层和表面具有微结构的金层；所述第二刻蚀液为铬酸和磷酸的混合液；所述铬酸和磷酸的混合液中铬酸的质量浓度为1.5％，磷酸的质量浓度为6％；所述第二刻蚀的温度为100℃，时间为30min；

在所述第四中间产物的金层表面电镀镍层，得到第五中间产物；所述电镀镍层采用的电镀液包括200g/L的硫酸钠、5g/L的氯化镍、25g/L的硼酸和3g/L的糖精；所述电镀镍层的温度为50℃，施加的是3V的直流电压；

去除所述第五中间产物的铜层和金层，得到所述镍模具；去除所述铜层采用0.5mol/L的硝酸；去除所述金层采用KI和I₂的混合溶液，所述KI和I₂的混合溶液中KI的质量浓度为8％，I₂的质量浓度为1％；所述镍模具的厚度为100μm。

2.权利要求1所述的制备方法制备得到的镍模具，其特征在于，所述镍模具的表面为圆柱状的阵列结构。

3.权利要求2所述的镍模具在制备减反射膜中的应用。

4.一种减反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用卷对卷制备的方式，将所述镍模具压印到聚合物薄膜表面，得到所述减反射膜；

所述镍模具为权利要求2所述的镍模具。

5.权利要求4所述制备方法制备得到的减反射膜。

6.权利要求5所述的减反射膜在光伏领域中的应用。