[发明专利]一种AgZn靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202111127142.0 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113862497A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 肖惠云;蔡新志;童培云;谢小豪;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C5/06;C22F1/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 agzn 及其 制备 方法 | ||
1.一种AgZn靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将锌锭、银锭置于石英管中，真空密封后放置于摇摆炉中加热，得到固溶体，冷却后得到粗坯；其中，加热过程采用分段式加热；第一段：加热的温度为430-460℃，加热的时间为0.5-1h；第二段：加热的温度为990-1050℃，加热的时间为1-3h；
(2)将步骤(1)中得到的粗坯热轧处理，机加工后得到AgZn靶材。
2.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，锌锭包括锌粒、锌块、锌粉中的至少一种，银锭包括银粒、银块、银粉中的至少一种。
3.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，锌锭、银锭的质量比为：锌锭：银锭＝1-10:90-99。
4.如权利要求3所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，锌锭、银锭的质量比为：锌锭：银锭＝2-5:95-98。
5.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，摇摆炉的摇摆角度为20°-40°。
6.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，冷却的方式为空冷，冷却的时间为0.5-1.5h。
7.如权利要求1所述的AgZn靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，热轧处理的温度为500-750℃，热轧处理后的保温时间为2-4min。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的AgZn靶材的制备方法制备得到的AgZn靶材。
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