[发明专利]一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法

说明书

本发明涉及一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备，包括：分束镜布置在激光器的出射端，且其具有两个出射端；振镜布置在分束镜的其中一个出射端；1/2波片布置在分束镜的另一个出射端；偏振分光镜布置在1/2波片的出射端；第一1/4波片布置在偏振分光镜的出射端；第一场镜布置在第一1/4波片的出射端；光折变晶体布置在偏振分光镜的出射端；反光器件布置在偏振分光镜的出射端；第二1/4波片布置在反光器件的出射端与光折变晶体的入射端之间；光电探测器布置在光折变晶体的出射端；信号处理器分别与激光器、振镜和光电探测器电连接。有益效果是：激光激励和激光干涉仪用同一个光源；设备灵敏度高；能测量粗糙平面的振动信号。

技术领域

本发明涉及激光无损检测技术领域，具体涉及一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法。

背景技术

激光超声是一种非接触,高精度,无损伤的新型超声检测技术，它利用激光脉冲在被检测工件中激发超声波,并用激光束探测超声波的传播,从而获取工件信息，比如工件厚度、内部及表面缺陷，材料参数等等。目前使用的激光超声设备包含激光激励和激光干涉接收两个部分，设备体积大，且设备之间存在干扰问题，影响激光超声探伤信号强度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备及方法，以克服上述现有技术中的不足。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种高精度光折变晶体干涉无损探伤设备，包括：

分束镜，其布置在激光器的出射端，且其具有两个出射端；

振镜，其布置在分束镜的反射光出射端；

1/2波片，其布置在分束镜的透射光出射端；

偏振分光镜，其布置在1/2波片的出射端；

第一1/4波片，其布置在偏振分光镜的反射光出射端；

第一场镜，其布置在第一1/4波片的出射端；

光折变晶体，其布置在偏振分光镜的水平透射光出射端；

反光器件，其布置在偏振分光镜的垂直透射光出射端；

第二1/4波片，其布置在反光器件的出射端与光折变晶体的入射端之间；

光电探测器，其布置在光折变晶体的出射端；

信号处理器，其分别与激光器、振镜和光电探测器电连接。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，还包括第二场镜，其布置在振镜的出射端。

进一步，还包括光开关，其布置在分束镜的反射光出射端与振镜的入射端之间。

进一步，还包括第一反光镜，其布置在分束镜的反射光出射端与光开关的入射端之间。

进一步，还包括扩束镜，其布置在分束镜的透射光出射端与1/2波片的入射端之间。

进一步，反光器件包括：

第二反光镜，其布置在偏振分光镜的垂直透射光出射端；

第三反光镜，其布置在第二反光镜的出射端与第二1/4波片之间。

进一步，激光器为高能量连续激光器。

进一步，激光器发射波段为532nm、1064nm的脉冲激光。

进一步，激光器所发射脉冲激光的能量密度大于500uJ/cm²。

一种高精度光折变晶体干涉无损探伤方法，包括如下步骤：