[发明专利]一种基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置在审

专利信息
申请号: 202111136669.X 申请日: 2021-09-27
公开(公告)号: CN113686786A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 于伟;马倩;洪学海;陈鑫 申请(专利权)人: 上饶市中科院云计算中心大数据研究院
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/88;G01N21/958
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 张勋
地址: 334000 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 暗场 显微 成像 原理 光学镜片 表面 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,包括起遮挡作用的机柜(5)、设置在所述机柜(5)内的可自动调节高度的反射光源模组(2)和透射光源模组(1)、用于采集光学镜片疵病图像的工业相机(3)、用于控制前述两个光源模组的光源控制模组(8)、用于支撑待检测镜片的镜片夹具(7)、用于将所述镜片夹具(7)传递至镜片检测工位的传送模组(4)、用于总体控制及图案分析的总控模块。

2.如权利要求1所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,在检测状态,所述工业相机(3)位于所述镜片夹具(7)上待检测镜片的正上方,所述透射光源模组(1)的光源位于待检测镜片正下方、反射光源模组(2)的光源位于待检测镜片正上方。

3.如权利要求1所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,在所述镜片检测工位所述镜片夹具(7)处于悬空状态,在所述机柜(5)内下方设置有暗背景(6),所述暗背景(6)位于所述工业相机(3)的景深范围之外。

4.如权利要求1、2或3任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述总控模块为计算机(9),所述光源控制模组(8)为单片机、嵌入式系统、PLC、或集成在所述计算机(9)中。

5.如权利要求1、2或3任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述反射光源模组(2)包括位置固定的直线运动模组(2-1),直线运动模组(2-1)上包括可竖直移动的滑块,一个反射光源(2-2)通过支架(2-3)固定在所述滑块上。

6.如权利要求5任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述反射光源(2-2)为漫反射环形光源,该漫反射环形光源中心线与工业相机(3)的视轴重合。

7.如权利要求1、2或3任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述透射光源模组(1)包括位置固定的直线运动模组(1-1),直线运动模组(1-1)上包括可竖直移动的滑块,一个透射光源(1-2)通过支架(1-3)固定在所述滑块上。

8.如权利要求7任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述透射光源(1-2)采用漫反射光源。

9.如权利要求1、2或3任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述镜片夹具(7)为平板结构,在其主平面上设有与待检测镜片大小相匹配的一个或多个承托孔。

10.如权利要求1、2或3任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述传送模组(4)包括与镜片夹具(7)适配的限位部,并且传送模组(4)带有至少在水平前后及左右方向的移动机构,在传送过程中可将所述镜片夹具(7)送入或送出所述机柜(5)。

11.如权利要求10任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述传送模组(4)为一个机械臂,该机械臂带有夹持所述镜片夹具(7)的机械爪。

12.如权利要求10任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述传送模组(4)还包括有视觉引导机构。

13.如权利要求11任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述机械臂至少为三轴机械臂。

14.如权利要求13任一项所述的基于暗场显微成像原理的光学镜片表面疵病检测装置,其特征在于,所述传送模组(4)包括基座(4-1)、固定于基座(4-1)上的立柱(4-2)、立柱(4-2)侧部延伸出的第一连接块(4-3)、一端可旋转连接在第一连接块(4-3)下部的第一偏转臂(4-4)、可旋转连接在第一偏转臂(4-4)下另一端的第二偏转臂(4-5)、可旋转连接在第二偏转臂(4-5)下端部的机械爪(4-6)、设置在机械爪(4-6)驱动端的两个可收拢或张开的爪臂(4-7)。

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