[发明专利]真空环境下的低温吸附与再生系统

权利要求书

1.一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于：包括主腔室、工件台、冷板、再生系统、真空系统和制冷系统；其中，

所述工件台和所述冷板设置在所述主腔室内；

所述再生系统设置在所述冷板外围，用于所述冷板的再生；

所述真空系统设置在所述主腔室的顶部外侧，用于对所述主腔室抽真空；

所述制冷系统对称设置在所述主腔室的外侧面，用于对所述冷板进行低温控制，

所述再生系统包括再生腔室、薄膜展开系统、冷却气体管道、再生加热系统以及气体回收泵；其中，

所述再生腔室的顶部和底部为敞口，所述冷板设置在所述再生腔室的中央位置；

所述薄膜展开系统用于所述冷板再生过程中封闭所述再生腔室；

所述冷却气体管道设置在所述冷板的侧面，用于将所述制冷系统的低温气体通入所述冷板内部；

所述再生加热系统包括热气体管道和电加热丝；

所述气体回收泵设置在所述主腔室的底部外侧，并通过泵管道与所述冷板连通，以回收所述冷板再生过程中的再生气体，

所述薄膜展开系统包括卷轴、电机、薄膜和密封机构；其中，

所述卷轴设置有两个，且对称设置在所述再生腔室一侧，用于收纳封闭所述再生腔室的薄膜；

所述电机用于驱动所述卷轴转动；所述薄膜设置在所述再生腔室的上下表面，所述薄膜包括矩形封闭膜和窄条工作膜；

所述密封机构设置在所述再生腔室的顶部和底部，通过伸缩下压所述薄膜实现对所述冷板的密封。

2.如权利要求1所述的真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，

在所述冷板的内部设置有S型管道，在所述冷板的表面设置有温度传感器，所述冷板为偶数个，数量至少为两个，所述冷板在所述工件台的下方沿所述主腔室的中心线对称设置。

3.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述热气体管道和所述冷却气体管道设置在所述冷板的同侧，所述热气体管道用于传输温度较高的气体，在所述主腔室1的外侧通过管道连接到热气体罐；所述电加热丝设置在所述冷板的上下表面。

4.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述矩形封闭膜的长度范围和宽度范围均为100mm～500mm，所述窄条工作膜的宽度范围为10mm～50mm，长度范围为100mm～500mm。

5.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述冷却气体管道包括冷却气体入口管道和冷却气体出口管道，管道中运输的气体包括液氮、液氦、液氧。

6.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述气体回收泵包括机械泵、分子泵、低温泵。

7.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述真空系统包括真空泵、真空计，所述真空泵沿所述主腔室中心线对称设置，所述真空计设置在所述主腔室内侧壁上。

8.如权利要求1所述的一种真空环境下的低温吸附与再生系统，其特征在于，所述制冷系统包括液态气体罐、液态气体压缩机。