[发明专利]磁栅精度校准检测装置及其检测方法

说明书

本发明公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法，属于直线计量元件精度检测设备技术领域，本发明设置有基座，其上部布设有气浮导轨；气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接；所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽，所述气浮滑块装设有磁栅读数头；以及两个光栅带，其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧，所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上，从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带，本发明实现了在对磁栅尺进行精度检测时，使用双基准来消除阿贝误差，具有提高检测精度的有益效果。

技术领域

本发明涉及直线计量元件精度检测设备技术领域，尤其涉及一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法。

背景技术

磁栅尺是一种测量直线位移的元件，通常用于自动化加工设备中，主要由读数头、磁栅组成，磁栅尺作为计量元件，在出厂前需要进行精度检测；

检测方法通常使用更高精度的测量装置对磁栅尺进行精度检测，但是，目前针对磁栅尺精度检测时是在未消除阿贝误差的前提下进行检测，导致磁栅尺精度检测效果差，在精度检测过程中，由测量基准的轴线和被检测轴线不重合所引入的误差叫做阿贝误差，在不解决阿贝误差的前提下，对磁栅尺的精度检测结果有较大影响；

中国公开专利CN 110617758 A提到一种磁栅尺精度检测机，其使用高精度线性模组对磁栅尺精度进行检测，将高精度线性模组作为测量基准，高精度线性模组的轴线和磁栅尺轴线并不重合，因此该装置没有考虑阿贝误差；又如，[1]臧金杰.基于磁栅的高精度位移传感器设计[D].苏州大学.该论文中采用激光干涉仪对磁栅尺进行精度检测，以及，中国公开专利CN205482772U中，其利用光栅的精度较高，使用光栅尺对磁栅尺进行精度检测与标定，以上两个文献中也存在同样问题；

因此，就以上问题，本发明提供一种在对磁栅尺进行精度检测时，使用双基准来消除阿贝误差，提高检测精度的磁栅精度校准检测装置及其检测方法是必要的。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法；

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明公开的磁栅精度校准检测装置，包括：

基座，其上部布设有气浮导轨；

气浮滑块，其与所述气浮导轨滑动连接；

所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽，所述气浮滑块装设有磁栅读数头；以及

两个光栅带，其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧，所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上，从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带。

进一步的，两个所述光栅读数头中心连线形成第一定位基准线A，所述磁栅读数头的中心重合于所述第一定位基准线A。

进一步的，所述导向槽宽度方向与所述待检磁栅带间隙配合，所述导向槽底壁布设有用于吸附所述待检磁栅带的负压吸附结构。

进一步的，所述负压吸附结构包括沿所述导向槽底壁长度方向开设的吸气孔和布设在所述基座内部并与所述吸气孔连通的负压管路；

所述负压管路通过接头与负压吸附系统气路连接。

进一步的，所述基座对应所述导向槽两端均布设有能够旋转的收揽盘，用于收纳所述待检磁栅带，所述收揽盘通过支架与所述基座固定连接。

进一步的，所述导向槽两端均装设有固定扣，用于固定所述待检磁栅带端部。

进一步的，所述基座为大理石工作台。