[发明专利]黑色感光性树脂组合物、图案化的固化物的制造方法、图案化的固化物以及黑色矩阵在审

专利信息
申请号: 202111144224.6 申请日: 2021-09-28
公开(公告)号: CN114384758A 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 佐藤梓实;坂田诚 申请(专利权)人: 东京应化工业株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004;G02F1/1335
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 陈亦欧;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 黑色 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 以及 矩阵
【权利要求书】:

1.一种黑色感光性树脂组合物,包含碱可溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)以及遮光剂(D),其特征在于,

所述光聚合性单体(B)包含以下述式(b1)表示的多官能(甲基)丙烯酸酯,

【化1】

式(b1)中,Rb1为氢原子或(甲基)丙烯酰基,Rb2分别独立地为氢原子或甲基,

所述遮光剂(D)包含从内酰胺类颜料(D1)、以及由氧氮化钛和氮化钛中的至少一种构成的钛类颜料(D2)中选择的至少一种。

2.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述黑色感光性树脂组合物的总固体成分中的所述遮光剂(D)的含量为20质量%以上50质量%以下。

3.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述黑色感光性树脂组合物的总固体成分中的所述光聚合性单体(B)的含量为5质量%以上20质量%以下。

4.如权利要求1~3的任一项所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述Rb1是(甲基)丙烯酰基。

5.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述光聚合引发剂(C)包含以下述式(c2)表示的光聚合引发剂,

【化2】

式(c2)中,Rc1为以下述式(c3)、(c4)或(c5)表示的基团,

n1为0或1,

Rc2为1价的有机基团,

Rc3为氢原子、可具有取代基的碳原子数为1以上20以下的脂肪族烃基、或者可具有取代基的芳基,

【化3】

式(c3)中,Rc4以及Rc5分别独立地为1价的有机基团,

n2为0以上3以下的整数,

在n2为2或3的情况下,多个Rc5可以相同也可以不同,多个Rc5可以彼此键合而形成环,

*为键,

【化4】

式(c4)中,Rc6以及Rc7分别独立地为可具有取代基的链状烷基、可具有取代基的链状烷氧基、可具有取代基的环状有机基团或者氢原子,

Rc6以及Rc7也可以彼此键合而形成环,

Rc7与芴骨架中的苯环可以彼此键合而形成环,

Rc8为硝基或1价的有机基团,

n3为0以上4以下的整数,

*为键,

【化5】

式(c5)中,Rc9为1价的有机基团、卤素原子、硝基或氰基,

A为S或O,

n4为0以上4以下的整数,

*为键。

6.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述遮光剂(D)包含炭黑(D3)。

7.一种图案化的固化物的制造方法,其特征在于,包括:涂布权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物从而形成涂布膜的工序;

对所述涂布膜位置选择性地进行曝光的工序;

对曝光后的所述涂布膜进行显影的工序;

对显影后的所述涂布膜进行加热的工序。

8.如权利要求7所述的图案化的固化物的制造方法,其特征在于,所述进行加热的工序在100℃以下的温度下进行。

9.一种图案化的固化物,其特征在于,由权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物的固化物构成。

10.一种黑色矩阵,其特征在于,由权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物的固化物构成。

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