[发明专利]黑色感光性树脂组合物、图案化的固化物的制造方法、图案化的固化物以及黑色矩阵在审
申请号: | 202111144224.6 | 申请日: | 2021-09-28 |
公开(公告)号: | CN114384758A | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 佐藤梓实;坂田诚 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G02F1/1335 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 陈亦欧;毛立群 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 黑色 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 以及 矩阵 | ||
1.一种黑色感光性树脂组合物,包含碱可溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)以及遮光剂(D),其特征在于,
所述光聚合性单体(B)包含以下述式(b1)表示的多官能(甲基)丙烯酸酯,
【化1】
式(b1)中,Rb1为氢原子或(甲基)丙烯酰基,Rb2分别独立地为氢原子或甲基,
所述遮光剂(D)包含从内酰胺类颜料(D1)、以及由氧氮化钛和氮化钛中的至少一种构成的钛类颜料(D2)中选择的至少一种。
2.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述黑色感光性树脂组合物的总固体成分中的所述遮光剂(D)的含量为20质量%以上50质量%以下。
3.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述黑色感光性树脂组合物的总固体成分中的所述光聚合性单体(B)的含量为5质量%以上20质量%以下。
4.如权利要求1~3的任一项所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述Rb1是(甲基)丙烯酰基。
5.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述光聚合引发剂(C)包含以下述式(c2)表示的光聚合引发剂,
【化2】
式(c2)中,Rc1为以下述式(c3)、(c4)或(c5)表示的基团,
n1为0或1,
Rc2为1价的有机基团,
Rc3为氢原子、可具有取代基的碳原子数为1以上20以下的脂肪族烃基、或者可具有取代基的芳基,
【化3】
式(c3)中,Rc4以及Rc5分别独立地为1价的有机基团,
n2为0以上3以下的整数,
在n2为2或3的情况下,多个Rc5可以相同也可以不同,多个Rc5可以彼此键合而形成环,
*为键,
【化4】
式(c4)中,Rc6以及Rc7分别独立地为可具有取代基的链状烷基、可具有取代基的链状烷氧基、可具有取代基的环状有机基团或者氢原子,
Rc6以及Rc7也可以彼此键合而形成环,
Rc7与芴骨架中的苯环可以彼此键合而形成环,
Rc8为硝基或1价的有机基团,
n3为0以上4以下的整数,
*为键,
【化5】
式(c5)中,Rc9为1价的有机基团、卤素原子、硝基或氰基,
A为S或O,
n4为0以上4以下的整数,
*为键。
6.如权利要求1所述的黑色感光性树脂组合物,其特征在于,所述遮光剂(D)包含炭黑(D3)。
7.一种图案化的固化物的制造方法,其特征在于,包括:涂布权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物从而形成涂布膜的工序;
对所述涂布膜位置选择性地进行曝光的工序;
对曝光后的所述涂布膜进行显影的工序;
对显影后的所述涂布膜进行加热的工序。
8.如权利要求7所述的图案化的固化物的制造方法,其特征在于,所述进行加热的工序在100℃以下的温度下进行。
9.一种图案化的固化物,其特征在于,由权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物的固化物构成。
10.一种黑色矩阵,其特征在于,由权利要求1~6的任一项所述的黑色感光性树脂组合物的固化物构成。
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