[发明专利]用于外延沉积的反应器及其加热方法在审
| 申请号： | 202111146174.5 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113943974A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 温森佐·奥格里阿里;西尔维奥·佩雷蒂;弗兰科·佩雷蒂 | 申请（专利权）人： | 洛佩诗公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 汤慧华;杨明钊 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 外延 沉积 反应器 及其 加热 方法 | ||
1.一种用于外延沉积的反应器(1)，包括：至少一个承受器(2)，其具有盘状部分，所述承受器(2)适于直接或间接支撑一个或更多个基底(100)；以及感应器(4)，其具有匝(41-47)，所述感应器(4)适于加热所述盘状部分(2)并通过改变所述匝(41-47)的位置来受到控制，
特征在于，所述反应器包括：
-第一电机(61)，其适于由于其运动而改变所述感应器(4)的至少一个第一匝(43)的位置，
-第一多个平移致动器(62)，其适于作用在所述至少一个第一匝(43)的相应多个点上并引起所述至少一个第一匝(43)的平移，以及
-第一传动装置(63)，其适于将所述第一电机(61)的运动传递给所述第一多个平移致动器(62)。
2.根据权利要求1所述的用于外延沉积的反应器，包括：
-第二电机，其适于由于其运动而改变所述感应器(4)的至少一个第二匝(45、46)的位置，
-第二多个平移致动器，其适于作用在所述至少一个第二匝(45、46)的相应多个点上并引起所述至少一个第二匝(45、46)的平移，以及
-第二传动装置，其适于将所述第二电机的运动传递给所述第二多个平移致动器。
3.根据权利要求1或2所述的用于外延沉积的反应器，其中所述第一传动装置(63)和/或所述第二传动装置包括一条和/或两条带或链。
4.根据权利要求1或2或3所述的用于外延沉积的反应器，其中所述感应器(4)包括呈单个弹性机械件的连续导体。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于外延沉积的反应器，包括用于检测所述第一多个平移致动器和所述第二多个平移致动器的旋转的电位计。
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