[发明专利]一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法

权利要求书

1.一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将金属箔切刀超声波清洗去除油脂，然后脱水和烘干后放入真空室；

(2)开启冷阴极气体离子源，冷阴极气体离子源输入氩气，控制放电电压为500V，引出电压为600V，利用引出的氩离子对真空室中金属箔切刀表面进行离子束抛光处理，处理时间控制在30min；

(3)关掉冷阴极气体离子源，开启电弧离子源，电弧离子源的阴极靶和阳极筒均为石墨，控制电弧放电电压120V，在石墨阴极靶面上产生电弧放电，进而产生碳等离子体；

(4)通过一个引出电极，将碳等离子体中的碳离子引出，进入一个过滤磁场，通过过滤磁场的筛选，再通过一个磁透镜聚焦，形成纯碳离子束流，再通过磁扫描偏转场，在120V负偏压作用下，将纯碳离子束沉积在金属箔切刀上，形成均匀的非晶四面体碳薄膜；

其中，通过一个过滤磁场的筛选，再通过一个磁透镜聚焦，形成纯碳离子束流，进而形成的非晶四面体碳薄膜显微硬度在75GPa以上，SP³含量大于75％，通过磁场扫描技术将纯碳离子束沉积在金属箔切刀上，控制非晶四面体碳薄膜表面粗糙度为0.43纳米，形成均匀分布的非晶四面体碳薄膜，厚度控制在100-200nm。

2.根据权利要求1所述的一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法，其特征在于，步骤(1)中超声波清洗温度为70℃。

3.根据权利要求1所述的一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法，其特征在于，步骤(2)中氩气流量为50毫升/秒。

4.根据权利要求1所述的一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法，其特征在于，步骤(3)中石墨的纯度大于99.99％。