[发明专利]一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片

权利要求书

1.一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：包含线性滤光片阵列和探测器阵列，线性滤光片阵列由多片线性滤光片沿宽度方向阵列构成，线性滤光片阵列中各片线性滤光片的光谱变化范围不同且所有线性滤光片的光谱变化范围整体连续变化。

2.根据权利要求1所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述线性滤光片阵列中多片线性滤光片的光谱宽度相等，相邻线性滤光片的光谱沿同一方向连续变化并且相邻线性滤光片两个光谱变化范围叠加后依然呈连续变化。

3.根据权利要求1所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述探测器阵列中的探测器单元呈矩形阵列分布，探测器单元总数为n，探测器阵列的探测器单元行数为m，每一行探测器单元数为n/m。

4.根据权利要求3所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述探测器单元总数n由入射光的波长范围和光谱分辨率Δλ确定。

5.根据权利要求4所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述线性滤光片阵列在一个基底上制作或在多个基底上制作再拼接而成。

6.根据权利要求1所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述线性滤光片的光谱渐变范围为Δλ×n/m。

7.根据权利要求3所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述探测器单元总数n取64-1024之间的整数。

8.根据权利要求7所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述探测器阵列的探测器单元行数为m取2-10之间的整数，且m和n的取值需保证每一行探测器单元数为n/m为整数。

9.根据权利要求1所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述探测器阵列材质采用硅、镓砷、铟镓砷和锗中的一种或几种的组合。

10.根据权利要求1所述的一种具有光谱分辨的探测器阵列芯片，其特征在于：所述线性滤光片阵列和探测器阵列通过硅胶固定或半导体工艺集成在芯片上。