[发明专利]用于带电粒子系统中样品的3D图像的深度重建

权利要求书

1.一种用于通过切片和视图带电粒子成像产生改进的样品3D重建的方法，所述方法包括：

获取与样品的第一层相关的第一数据，所述第一数据已通过用带电粒子束对所述样品的所述第一层进行第一辐照而获取；

获取与样品的第二层相关的第二数据，所述第二数据已通过用所述带电粒子束对所述样品的所述第二层进行第二辐照而获取，其中：

在所述第一辐照与所述第二辐照之间去除所述样品的所述第一层；以及

所述带电粒子束的电子相互作用深度大于所述第一层的厚度和所述第二层的厚度；

用基于训练的3D盲反卷积算法增强所述第一数据以创建增强型第一数据，其中所述基于训练的3D盲反卷积算法减少由所述第一层外部的电子相互作用产生的所述第一数据的第一部分引起的深度模糊；

用所述基于训练的3D盲反卷积算法增强所述第二数据以创建增强型第二数据，其中所述基于训练的3D盲反卷积算法减少由所述第二层外部的电子相互作用产生的所述第二数据的第二部分引起的深度模糊；以及

使用所述增强型第一数据和所述增强型第二数据构建所述样品的高分辨率3D重建。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括以下步骤：

产生所述样品的所述第一层的第一图像；以及

产生所述样品的所述第二层的第二图像。

3.根据权利要求1所述的方法，其中增强所述第一数据包括基于所述第一层外部的电子相互作用产生具有减少的信息量的增强型第一图像，且增强所述第二数据包括基于所述第二层外部的电子相互作用产生具有减少的信息量的增强型第二图像。

4.根据权利要求1所述的方法，其中减少所述深度模糊对应于：

从所述第一数据去除由所述第一层外部的电子相互作用产生的所述第一数据的所述第一部分；以及

从所述第二数据去除由所述第二层外部的电子相互作用产生的所述第二数据的所述第二部分。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述深度模糊对应于由在图像所对应的样品层外部发生的所述电子相互作用产生的图像数据的存在。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述带电粒子束为单一能量电子束。

7.根据权利要求1所述的方法，其中用以下各项中的一个或多个去除所述样品的所述第一层：

聚焦离子束；

激光；

电子束；以及

金刚石刀片。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其中所述基于训练的3D盲反卷积算法包括3D神经网络。

9.根据权利要求8所述的方法，其中使用以下各项训练所述3D神经网络：

第一组训练数据，其通过对训练样品进行切片和视图带电粒子成像而获取，其中成像波束的所述电子相互作用深度大于对应切片厚度；以及

第二组训练数据，其对应于所述训练样品的经标记重建。

10.根据权利要求9所述的方法，其中使用所述训练样品的低压切片和视图带电粒子成像处理获取所述第二组训练数据，其中所述成像波束的所述电子相互作用深度小于所述对应切片厚度。

11.根据权利要求9所述的方法，其中至少部分地通过将反卷积算法应用于所述第一组训练数据来获取所述第二组训练数据。

12.根据权利要求9所述的方法，其中基于所述训练样品的映射、所述训练样品的描述、所述训练样品的已知特性或其组合而模拟获取所述第二组训练数据。