[发明专利]玻璃组合物

说明书

本发明提供一种玻璃组合物，其组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：50～70％；B₂O₃：3～20％；Al₂O₃：11～25％；CaO：1～15％；MgO：0～10％。通过合理的组分设计，本发明获得的玻璃组合物具有优异的化学稳定性，较高的紫外光透过率和转变温度，满足半导体制程中载具和封装需求，适用于半导体制造领域。

技术领域

本发明涉及一种玻璃组合物，尤其是涉及一种适用于半导体制造领域的玻璃组合物。

背景技术

玻璃在光透过性能、化学性能、机械性能、电气特性、制造加工成本方面和其他材料(如金属、晶体、陶瓷等)相比有明显的优势，因此近年开始逐渐应用于半导体封装和半导体制程等应用中。随着半导体芯片器件的集成度越来越高，在芯片封装流程中，需要使用载具材料来防止封装晶圆的变形，提升芯片封装的良品率。玻璃由于具备良好的机械稳定性、优异的光透过率特性以及可以以较低成本获得超大规格等特性，对于半导体芯片封装载具来讲，是一种极具发展潜力的材料。

用于封装载具的玻璃的转变温度(T_g)越高，玻璃在高温制程的耐受度越高，越不容易在高温制程中变形，尤其是需要在500℃～600℃以上的半导体制程中，需要玻璃的转变温度高于600℃。紫外激光剥离技术对于传统剥离技术来讲，具有良品率高，成本低的优势，但紫外激光剥离技术要求载具玻璃组合物在365nm附近具备高透特性。半导体封装所使用的载具玻璃价值较高，需循环使用数十次甚至数百次，在每次使用后都要进行清洗，若玻璃组合物的耐水、耐酸性能不好，在清洗过程中会破坏其光洁表面，从而缩短其使用寿命。更为严重的是，载具玻璃在半导体制程中会接触酸碱化学试剂，若化学稳定性不佳，玻璃中的物质会被腐蚀到工艺制程中所用的酸碱溶液中，导致制程液过早报废，引起巨大的损失。因此，作为载具用玻璃，需要具备优异的化学稳定性。

发明内容

基于以上原因，本发明所要解决的技术问题是提供一种具有优异化学稳定性，较高转变温度和紫外光透过率的玻璃组合物。

本发明解决技术问题采用的技术方案是：

(1)玻璃组合物，其组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：50～70％；B₂O₃：3～20％；Al₂O₃：11～25％；CaO：1～15％；MgO：0～10％。

(2)根据(1)所述的玻璃组合物，其组分以重量百分比表示，还含有：SrO：0～10％；和/或BaO：0～10％；和/或ZnO：0～8％；和/或Rn₂O：0～8％；和/或Ln₂O₃：0～8％；和/或WO₃：0～5％；和/或ZrO₂：0～5％；和/或TiO₂：0～5％；和/或P₂O₅：0～5％；和/或澄清剂：0～1％,所述Rn₂O为Li₂O、Na₂O、K₂O中的一种或多种，Ln₂O₃为La₂O₃、Gd₂O₃、Y₂O₃、Yb₂O₃中的一种或多种，澄清剂为Sb₂O₃、CeO₂、SnO₂、SnO中的一种或多种。