[发明专利]一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法

权利要求书

1.一种用于液相外延的石墨舟，其特征在于，包括底托以及依次放置在底托中的衬底槽、母液槽和上盖，

所述衬底槽中设有用于放置石墨垫块和衬底的第一通孔，所述石墨垫块在所述第一通孔内的高度可调节；

所述第一通孔设有多个水平刻度线，用于指示所述石墨垫块的高度和水平度。

2.如权利要求1所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，多个所述水平刻度线设于所述第一通孔的内表面，且多个水平刻度线之间有预设间隔。

3.如权利要求1所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，在石墨垫块底部安装多个石墨螺钉，通过多个所述石墨螺钉调整所述石墨垫块的水平度及其在所述第一通孔内的高度。

4.如权利要求3所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，所述石墨螺钉为四个，四个所述石墨螺钉分别靠近所述石墨垫块底面的四个顶角设置。

5.如权利要求1所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，所述第一通孔贯穿所述衬底槽。

6.如权利要求1所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，所述石墨垫块的横截面与所述第一通孔的横截面相适配。

7.如权利要求1-6中任一项所述的用于液相外延的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟为水平式或倾斜式液相外延用石墨舟。

8.一种使用石墨舟进行液相外延的方法，其特征在于，采用如权利要求1-7中任一项所述的用于液相外延的石墨舟进行液相外延，所述方法包括：

将衬底槽放置在底托内；

将所述石墨垫块放置于所述衬底槽的所述第一通孔中，并调整所述石墨垫块至预设高度；

将所述衬底放置于所述石墨垫块；

在所述衬底槽上放置母液槽，并在母液槽中添加所需母液和补充源；

盖上上盖，将石墨舟放置于液相外延设备中进行外延工艺。

9.如权利要求8所述的使用石墨舟进行液相外延的方法，其特征在于，调整所述石墨垫块至预设高度，包括：

设所述第一通孔的深度与所述衬底槽的厚度相等且为L₁；

根据采用的液相外延工艺，确定采用的衬底的厚度L₂及所述衬底上生长的薄膜厚度L₃；

计算所述石墨垫块的预设高度L₄＝L₁-L₂-L₃-L₀，并根据所述预设高度对应的所述水平刻度线，将所述石墨垫块调整至所述预设高度；

其中，所述L₀为所述薄膜距离所述衬底槽顶部之间的最佳距离。