[发明专利]一种坩埚组件及拉晶炉

权利要求书

1.一种坩埚组件，其特征在于，所述坩埚组件包括：

石墨坩埚，所述石墨坩埚包括本体以及从所述本体的内表面凸出的多个凸肋；

石英坩埚，所述石英坩埚嵌套在所述石墨坩埚中；

其中，当所述石英坩埚因加热导致的软化而发生朝向所述石墨坩埚的变形时，所述石墨坩埚与所述石英坩埚之间的位于所述凸肋的根部附近的间隙被保留，

其中，所述间隙随所述凸肋一起延伸直至通往外界环境。

2.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述多个凸肋在所述本体的周向上均匀分布。

3.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，每个凸肋的横截面呈半圆形。

4.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，每个凸肋呈直线状。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的坩埚组件，其特征在于，每个凸肋在包含所述本体的纵向中心线的平面中延伸。

6.根据权利要求5所述的坩埚组件，其特征在于，所述多个凸肋仅设置在所述本体的整个侧壁上。

7.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述坩埚组件还包括托盘，所述托盘用于以与所述石墨坩埚的底部接触的方式支承所述石墨坩埚和所述石英坩埚，其中，所述石墨坩埚的底部设置有朝向所述托盘渐扩的裙部，所述裙部的大端直径大于所述托盘的直径。

8.一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉包括根据权利要求1至7中任一项所述的坩埚组件。

9.根据权利要求8所述的拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉还包括设置在所述坩埚组件上方的温度控制单元，所述温度控制单元用于将沿着拉晶方向移动的所述单晶硅棒中的进入到所述温度控制单元中的节段的温度控制在650℃至700℃。