[发明专利]一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪

权利要求书

1.一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，包括电子传输管道、二极铁、钛膜、锡箔纸、第一荧光板、第二荧光板、第一暗室和第二暗室；所述二极铁的磁场可调，所述电子传输管道从所述二极铁中间穿过，在穿出所述二极铁后所述电子传输管道呈30度角折弯扩展，所述钛膜真空密封所述电子传输管道管道的末端；在所述电子传输管道后方依次设置有紧贴的所述第一暗室和所述第二暗室，所述第一暗室的前表面依次贴有所述锡箔纸和所述第一荧光板，所述第二荧光板分隔所述第一暗室和所述第二暗室，所述第一荧光板与所述第二荧光板平行设置，所述第一暗室内均配置有第一CCD相机，所述第二暗室内配置有第二CCD相机。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，所述电子传输管道由前直管段、扩展段和后直管段依次连接一体而成。

3.根据权利要求2所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，所述扩展段呈直角三角形，其一侧与所述第一荧光板平行，另一侧与所述第一荧光板垂直。

4.根据权利要求3所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，所述扩展段的前端与所述二极铁的前端对齐。

5.根据权利要求4所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，从所述电子传输管道末端产生的电子束垂直射入到所述第一荧光板和所述第二荧光板上。

6.根据权利要求1所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，扩展段的长度为20～150cm。

7.根据权利要求1所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，所述二极铁采用H型对称结构。

8.根据权利要求1所述的一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，其特征在于，所述二极铁内的电流为5-20A。