[发明专利]一种快速磨抛金刚石晶圆的方法在审
| 申请号： | 202111154153.8 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113829133A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 胡光球;陆静;王凯平 | 申请（专利权）人： | 苏州赛尔特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/22;B24D3/02;B24D3/34;B24D18/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙周强 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 金刚石 方法 | ||
1.一种快速磨抛金刚石晶圆的方法，包括以下步骤，在磨抛机上，利用自修整冻干凝胶砂轮磨抛金刚石晶圆，完成金刚石晶圆的快速磨抛，其特征在于，将混合物2加入混合物1中，再加入混合物3，搅拌得到混合液；将混合液倒入模具后浸入钙盐溶液中，得到凝胶体；然后将凝胶体依次经过真空干燥、冷冻干燥，得到自修整凝胶砂轮用冻干凝胶块；将自修整凝胶砂轮用冻干凝胶块与基体结合，得到自修整冻干凝胶砂轮；将海藻酸钠、羧甲基壳聚糖、水混合，得到混合物1；将芳纶粉末与水混合，得到混合物2；将玻璃纤维粉末、金刚石磨料与水混合，得到混合物3。
2.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，混合液中，海藻酸钠、羧甲基壳聚糖、芳纶粉末、玻璃纤维粉末、金刚石磨料、水的质量比为（15～25）∶（3～8）∶（80～110）∶（180～230）∶（50～100）∶1200。
3.根据权利要求2所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，混合液中，海藻酸钠、羧甲基壳聚糖、芳纶粉末、玻璃纤维粉末、金刚石磨料、水的质量比为（15～25）∶（3～8）∶（90～105）∶（190～210）∶（70～90）∶1200。
4.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，真空干燥时，真空度为500～1000Pa，时间为1～2小时，温度为40～60℃；冷冻干燥时，真空度为1～50 Pa，5～7小时降至-80～-60℃，然后保持20～30小时。
5.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，浸入钙盐溶液的时间为100～150分钟；钙盐溶液中，钙盐浓度为0.1～1wt%。
6.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，搅拌的转速为800～1500rpm，时间为1～15小时。
7.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，钙盐溶液为氯化钙水溶液。
8.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，磨抛加工时，转速为1200/200rpm～2000/500rpm，加工时间为20～50min。
9.根据权利要求8所述快速磨抛金刚石晶圆的方法，其特征在于，磨抛加工时，转速为1300/250rpm～1800/400rpm，加工时间为25～40min。
10.根据权利要求1所述快速磨抛金刚石晶圆的方法加工制备的磨抛金刚石晶圆。
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