[发明专利]改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工方法和系统

权利要求书

1.一种改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工方法，其特征在于，所述方法包括：

基于氮含量分布将待切割的氮掺杂晶棒划分为多个待加工晶棒段；其中，每个待加工晶棒段均对应于一氮含量区间；

根据氮含量区间与加工条件之间的对应关系确定每个待加工晶棒段各自对应的加工条件；其中，所述加工条件使得能够避免对应的待加工晶棒段经由线切割而发生翘曲现象；

利用各所述待加工晶棒段对应的加工条件分别对各所述待加工晶棒段进行切割加工，获得由所述待切割的氮掺杂晶棒切割得到的晶圆；

其中，所述根据氮含量区间与加工条件之间的对应关系确定每个待加工晶棒段各自对应的加工条件，包括：

针对每个待加工晶棒段，在线切割过程中分别采集设定的多个径向位置处的温度值；

根据各待加工晶棒段在相同径向位置处的温度值确定各待加工晶棒段之间的温度差；

基于各待加工晶棒段之间的温度差确定各待加工晶棒段对应的钢线进给量，以使得除位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部以外的待加工晶棒段的加工温度与位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部的待加工晶棒段的加工温度一致。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述各待加工晶棒段中，位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部的待加工晶棒段对应的钢线进给量小于除位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部以外的待加工晶棒段对应的钢线进给量。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于氮含量分布将所述待切割的氮掺杂晶棒划分为多个待加工晶棒段，包括：

将所述待切割的氮掺杂晶棒基于氮含量分布切割为多个待加工晶棒段。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：检测待切割的氮掺杂晶棒的氮含量分布。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述检测待切割的氮掺杂晶棒的氮含量分布，包括：

沿所述待切割的氮掺杂晶棒的轴向方向的多个轴向采样位置分别对应采集检测样品；

将每个检测样品消除热施主后进行迅速降温，利用傅立叶变换红外光谱仪FTIR检测降温后每个检测样品对应的氮含量，以获得用于表征所述待切割的氮掺杂晶棒的氮含量分布的所述各轴向采样位置的氮含量。

6.一种改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工系统，其特征在于，所述系统包括：划分部分、确定部分和加工部分；其中，

所述划分部分，用于基于氮含量分布将待切割的氮掺杂晶棒划分为多个待加工晶棒段；其中，每个待加工晶棒段均对应于一氮含量区间；

所述确定部分，用于根据氮含量区间与加工条件之间的对应关系确定每个待加工晶棒段各自对应的加工条件；其中，所述加工条件使得能够避免对应的待加工晶棒段经由线切割而发生翘曲现象；

所述加工部分，用于利用各所述待加工晶棒段对应各所述加工条件分别对各所述待加工晶棒段进行切割加工，获得由所述待切割的氮掺杂晶棒切割得到的晶圆；

其中，所述确定部分，包括采集设备和数据处理设备；其中，

所述采集设备，用于针对每个待加工晶棒段，在线切割过程中分别采集设定的多个径向位置处的温度值；

所述数据处理设备，用于根据各待加工晶棒段在相同径向位置处的温度值确定各待加工晶棒段之间的温度差；以及，

基于各待加工晶棒段之间的温度差确定各待加工晶棒段对应的钢线进给量，以使得除位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部以外的待加工晶棒段的加工温度与位于所述待切割的氮掺杂晶棒首部的待加工晶棒段的加工温度一致。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述划分部分，用于将所述待切割的氮掺杂晶棒基于氮含量分布切割为多个待加工晶棒段。

8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统还包括检测部分，经配置为：检测所述待切割的氮掺杂晶棒的氮含量分布。