[发明专利]一种用于铌隧道结制备的微加工系统

权利要求书

1.一种用于铌隧道结制备的微加工系统，包括底座（1）、升降机构（2）、散热机构（3）、震动机构（4）和衬底固定机构（5），其特征在于：所述底座（1）上端外侧设有外筒体（6），所述外筒体（6）内部固定连接有内筒体（7），所述内筒体（7）上侧设有密封盖（8），所述密封盖（8）上端中部设有导向筒（9），所述导向筒（9）前侧设有温度传感器（10）和氧传感器（11），且温度传感器（10）和氧传感器（11）对称安装在密封盖（8）的上端，所述底座（1）的上端中部安装有电加热丝（12）；所述震动机构（4）包括超声波发生器（401）和换能器（402），所述超声波发生器（401）与换能器（402）电性连接，所述换能器（402）与内筒体（7）固定连接，且换能器（402）环绕分布在内筒体（7）的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述衬底固定机构（5）包括真空泵（501）、电磁控制阀（502）、真空发生器（503）和连接套筒（504），所述真空泵（501）、电磁控制阀（502）和真空发生器（503）均安装在滑动套筒（203）的上端，且通过导气管依次连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述真空发生器（503）的输出端通过导管连接有分接头（505），所述分接头（505）固定在连接套筒（504）内部，所述连接套筒（504）上端与第二电动伸缩杆（204）的主轴末端相固定，所述分接头（505）外侧通过气管连接有吸盘（506），所述分接头（505）下侧设有固定盘（507），所述吸盘（506）均匀安装在固定盘（507）的上端。

4.根据权利要求1所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述散热机构（3）包括散热筒（301）、散热风机（302）、电机（303）和密封板（304），所述散热筒（301）设在外筒体（6）的前端下侧，且散热筒（301）为空心圆柱状设置，所述散热筒（301）的上端安装有电机（303），所述电机（303）的主轴末端与密封板（304）固定连接，所述密封板（304）设在散热筒（301）的内部后侧，且与散热筒（301）转动连接，所述散热风机（302）安装在散热筒（301）的内部前端。

5.根据权利要求1所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述升降机构（2）包括第一电动伸缩杆（201）、固定套筒（202）和滑动套筒（203），所述第一电动伸缩杆（201）的下端与固定套筒（202）固定连接，所述第一电动伸缩杆（201）的上端与滑动套筒（203）固定连接，且滑动套筒（203）在固定套筒（202）的内部滑动。

6.根据权利要求1所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述外筒体（6）的上端设有圆环状的密封圈（13），所述外筒体（6）的前端上部安装有排气电磁阀（14），且排气电磁阀（14）通过导管与内筒体（7）连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述外筒体（6）的左侧设有辅助气体储存罐（15），所述辅助气体储存罐（15）通过导管连接有进气电磁阀（16），所述进气电磁阀（16）的输出端与内筒体（7）连接，所述内筒体（7）呈倒圆台状设置，且在内筒体（7）的底部设有排液阀（17）。

8.根据权利要求7所述的一种用于铌隧道结制备的微加工系统，其特征在于：所述辅助气体储存罐（15）内部存储有辅助气体，且辅助气体为氩气或为二氧化碳。