[发明专利]一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱及裂解工艺

权利要求书

1.一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，其特征在于：裂解反应柱（1）下端设有液相入口（11）和氯化氢入口（12），裂解反应柱（1）上端设有液相出口（13），所述裂解反应柱（1）内设置有盘管（14），盘管（14）用于通入恒温物料，裂解反应柱（1）内与盘管（14）间填充有聚氯硅烷裂解树脂，裂解反应柱（1）内盘管（14）的上端、下端均设有带孔的隔离网（15），所述裂解反应柱（1）内上部留有缓冲空间（16），所述盘管（14）对应部位的反应柱上、中、下部均设有温度传感器（4）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，其特征在于：所述裂解反应柱（1）的柱体内设有与液相入口（11）连接的分布器（17），分布器（17）上设有多个水帽。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，其特征在于：所述柱体内设有与液相出口（13）连接的分布器I（19），分布器I（19）上设有多个水帽。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，其特征在于：所述盘管（14）通过拉杆（2）和扣件（3）固定安装在柱体内。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，其特征在于：所述盘管（14）为无焊缝的直径为DN80的微管。

6.一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺，其特征在于，使用如权利要求1所述的裂解反应柱（1），包括以下步骤：

a. 往裂解系统中裂解反应柱（1）的盘管（14）中通入恒温物料，恒温物料从盘管（14）的下端进口进入盘管（14）；从上端出口排出，所述恒温物料为55-60℃的纯净水或纯净氯硅烷；

b.再收集含高沸物的四氯化硅混合液，冷却至55-60℃，经过滤，从裂解反应柱（1）的液相入口（11）进入至裂解反应柱（1）中；

c.将氯化氢气体从氯化氢入口（12）进入至裂解反应柱（1）中，裂解反应柱（1）中压强为90-120kPa；

d.裂解反应柱（1）上部为反应后的四氯化硅液体，当裂解反应柱（1）顶部液位达到裂解反应柱（1）的预设值时，开始从液相出口（13）移出反应后的产品液，保持裂解反应柱（1）中产品液的液位在60%-65%。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺，其特征在于：步骤b中，所述四氯化硅混合液是从精馏工段收集得到的含高沸物质量分数在2%-10%的四氯化硅混合液。

8.根据权利要求7所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺，其特征在于：步骤d中，将从液相出口（13）移出的产品液经过换热器处理至55-60℃后，作为恒温物料通入盘管（14）中。

9.根据权利要求7所述的一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解工艺，其特征在于：所述步骤b中，采用100目的过滤器（8）对四氯化硅混合液进行过滤，所述过滤器（8）前后压差大于10kPa时，对过滤器（8）进行清堵。