[发明专利]电子装置的制造方法在审
| 申请号： | 202111157230.5 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114384768A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王程麒;陈永一;郑承恩 | 申请（专利权）人： | 群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 装置 制造 方法 | ||
1.一种电子装置的制造方法，其特征在于，包括：
设定一基本工作面积；
提供一承载平台，其中该承载平台具有多个真空吸盘；
将一基板设置在该承载平台上；
以该多个真空吸盘中的一部分对该基板的一部分进行真空吸引，其中该基板中受真空吸引的该部分定义为一吸引区域；以及
对该吸引区域的一部分进行曝光；
其中，该吸引区域的面积大于该基本工作面积且小于该承载平台的面积。
2.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，其中进行曝光的该部分的面积与该基本工作面积相等。
3.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，该吸引区域的该面积对该基本工作面积的比值为大于或等于1.44且小于或等于1.96。
4.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，还包括一研磨步骤，其中在该研磨步骤中该基板被研磨的一部分的面积与该基本工作面积相等。
5.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，还包括：
依据该基本工作面积定义出一边界；以及
对该边界所围成的一范围内的元件进行检查，
其中，该边界所围成的该范围的面积与基本工作面积相等。
6.如权利要求5所述的电子装置的制造方法，其特征在于，通过移除位于该边界的该基板的一部分，以形成一边界线。
7.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，该电子装置应用于面板、液晶天线或封装元件。
8.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，该多个真空吸盘为能够升降、移动或能够调整角度的真空吸盘。
9.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，还包括：
在对该吸引区域的该部分进行曝光之后，以该多个真空吸盘中的另一部分对该基板的另一部分进行真空吸引，其中该基板中受真空吸引的该另一部分定义为另一吸引区域；以及
对该另一吸引区域的一部分进行曝光。
10.如权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，该基板的面积为该基本工作面积的N倍，其中N为正整数。
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