[发明专利]一种AlGaInN发光二极管的接触结构在审
申请号: | 202111158607.9 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113921677A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 吴小明;莫春兰;陈芳;王立;李新华;蒋恺 | 申请(专利权)人: | 南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40;H01L33/36 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 张文 |
地址: | 330031 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 algainn 发光二极管 接触 结构 | ||
本发明公开了一种AlGaInN发光二极管的接触结构,包括AlGaInN接触层,第一接触层和第二接触层;第二接触层越过第一接触层与AlGaInN接触层接触;第一接触层位于AlGaInN接触层和第二接触层之间;第一接触层至少与AlGaInN接触层和第二接触层的一个是肖特基接触或者绝缘。本发明通过改变第一接触层面积,调节AlGaInN接触层与第二接触层的在各处的接触面积和电阻,在保证电流在第二接触层上传输的前提下,分配AlGaInN接触层和器件各处所获得的电流比例。
技术领域
本发明涉及发光二极管(LED)领域,尤其是涉及一种AlGaInN发光二极管的接触结构。
背景技术
大功率LED广泛应用于舞台装饰、投影以及其他特种照明领域。这些领域所需亮度高,器件尺寸往往在1 mm2以上,工作电流达到2A以上。如此大的电流,需要电流在器件内扩展均匀。
AlGaInN发光二极管已实现从紫外到黄绿光波段的产业化,其大功率LED器件制造,采用通孔技术。其原理如图1所示,p电极104直接蒸镀在p型AlGaInN 106上。再从p型AlGaInN 106刻孔至n型AlGaInN108,做好孔里的绝缘层103后,往孔中蒸镀金属,形成n电极102。此结构的优点是,p面和n面都有整面的金属帮助电流进行扩展;缺点是,n电极的制备,需要经过刻孔和绝缘钝化等步骤,工序复杂,成本较高。
传统线条电极方案中,扩展存在困难,如图2所示。为减少电流在扩展电极202上的输运电阻,扩展电极202要保证一定宽度。但如此条件下,扩展电极202和AlGaInN接触层203之间的接触面积较大,接触电阻较小,电流容易在刚流出焊盘201后,大部分就直接流入焊盘201附近的AlGaInN接触层203上,而无法均匀传导到扩展电极202远处,导致电流拥堵。
发明内容
本发明的目的在于提供一种AlGaInN发光二极管的接触结构,以解决大功率LED目前制造存在的问题。
本发明的目的是这样实现的:
一种AlGaInN发光二极管的接触结构,包括:AGaInN接触层,第二接触层,以及位于AlGaInN接触层和第二接触层之间的第一接触层;其特征在于:第二接触层越过第一接触层与AlGaInN接触层形成欧姆接触,第一接触层与AlGaInN接触层或第二接触层中的至少一个为肖特基接触或绝缘。
优选地,AlGaInN接触层为AlxGayIn1-x-yN,其中0≤x≤1,0≤y≤1。
优选地,所述第一接触层为绝缘体。
优选地,第一接触层为导体,与AlGaInN接触层形成肖特基接触。
优选地,第一接触层为半导体,第一接触层与AlGaInN接触层在组分上形成异质结,第一接触层与第二接触层形成肖特基接触。
优选地,第一接触层为半导体,第一接触层与AlGaInN接触层在掺杂上形成异质结,第一接触层与第二接触层形成肖特基接触。
优选地,第一接触层为反型半导体,第一接触层与AlGaInN接触层形成pn结。
本发明在保证第二接触层具有一定宽度的基础上,在第二接触层与AlGaInN接触层之间,插入第一接触层,既保证电流在第二接触层上输运,又通过改变第一接触层的面积,调节AlGaInN接触层与第二接触层在各处的接触面积和电阻,在保证电流在第二接触层上传输的前提下,分配AlGaInN接触层和器件各处所获得的电流比例。
附图说明
图1为现有AlGaInN通孔结构的大功率LED芯片结构示意图,图中:100为背电极,101为支撑基板,102为n电极,103为绝缘层,104为p电极,105为p电极焊盘,106为p型AlGaInN,107为有源层,108为n型AlGaInN;
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