[发明专利]一种磷化铟晶体生长除杂装置

权利要求书

1.一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：包括处理箱体(1)和进料口(2)；所述处理箱体(1)内部固接连通有进料口(2)；

所述处理箱体(1)内部设置有除杂单元，且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板(8)、收集组件、侧板(12)、密封组件和固定组件，所述搅拌组件转动连接在处理箱体(1)内壁，所述清理组件固接在搅拌组件外壁，所述下料板(8)固接在处理箱体(1)内壁，所述收集组件固接在处理箱体(1)内壁，所述侧板(12)转动连接在处理箱体(1)外壁，所述密封组件胶粘在处理箱体(1)内壁，所述固定组件插设在侧板(12)内部。

2.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述搅拌组价包括第一电机(3)、搅拌杆(4)和绞龙(5)，所述第一电机(3)固接在处理箱体(1)外壁，所述搅拌杆(4)固接在第一电机(3)外壁，所述绞龙(5)固接在搅拌杆(4)外壁。

3.根据权利要求2所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述清理组件包括侧刷(6)和横刷(7)，所述侧刷(6)固接在搅拌杆(4)外壁，所述横刷(7)固接在搅拌杆(4)外壁。

4.根据权利要求3所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述收集组件包括固定块(9)、第一卡块(10)和过滤箱(11)，所述固定块(9)固接在处理箱体(1)内壁，所述第一卡块(10)固接在处理箱体(1)内壁，所述过滤箱(11)外壁贴合在固定块(9)外壁。

5.根据权利要求4所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述密封组件包括第一密封块(13)和第二密封块(14)，所述第一密封块(13)胶粘在侧板(12)外壁，所述第二密封块(14)胶粘在处理箱体(1)内壁。

6.根据权利要求5所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述固定组件包括插块(16)、第一弹簧(17)和滑槽(18)，所述插块(16)插设在侧板(12)内部，所述第一弹簧(17)固接在插块(16)外壁，所述滑槽(18)开设在处理箱体(1)内部。

7.根据权利要求6所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述处理箱体(1)内部设置有循环单元，且循环单元包括药箱(19)、循环泵(20)、除垢组件、滤网(24)、第二卡块(25)、和卡合组件，所述药箱(19)固接在处理箱体(1)外壁，所述循环泵(20)固接在处理箱体(1)外壁，所述除垢组件固接在处理箱体(1)内部，所述滤网(24)插设在药箱(19)内部，所述第二卡块(25)固接在药箱(19)内壁，所述卡合组件插设在滤网(24)内部。

8.根据权利要求7所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述除垢组件包括反向螺杆(21)、第二电机(22)和刮板(23)，所述反向螺杆(21)转动连接在处理箱体(1)内壁，所述第二电机(22)固接在反向螺杆(21)外壁，所述刮板(23)内部通过螺纹连接在反向螺杆(21)外壁。

9.根据权利要求8所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述卡合组件包括第三卡块(26)、固定杆(27)和第二弹簧(28)，所述第三卡块(26)插设在滤网(24)内部，所述固定杆(27)固接在药箱(19)内壁，所述第二弹簧(28)固接在第三卡块(26)内壁。

10.根据权利要求9所述的一种磷化铟晶体生长除杂装置，其特征在于：所述处理箱体(1)内壁胶粘有卡球(15)，且卡球(15)为橡胶材质。