[发明专利]一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法有效
| 申请号： | 202111164563.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113996819B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 钼靶材 组件 溅射 加工 方法 | ||
1.一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述溅射弧面加工方法包括如下内容：
对焊接完成的圆形钼靶材组件的溅射面先进行粗车削，控制粗车削的每一刀的进刀量为0.3-0.5mm，转动速度为200-300r/min，再进行精车削，控制精车削的每一刀的进刀量为0.03-0.04mm，转动速度为100-170r/min，加工得到圆形钼靶材组件的溅射弧面；
其中，所述粗车削与所述精车削均采用的是卧式数控机床；所述卧式数控机床为台中精机VT22型号机床；所述粗车削与所述精车削的刀片型号为CCGX120404。
2.根据权利要求1所述的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述圆形钼靶材组件的钼靶材纯度为99.995-99.999％；所述圆形钼靶材组件的背板为铜背板。
3.根据权利要求1所述的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述焊接完成对应的焊接方式为钎焊；所述钎焊的焊料为铟焊料。
4.根据权利要求1所述的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述粗车削与所述精车削均采用车削液。
5.根据权利要求4所述的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述车削液为乳化液的水溶液；所述乳化液的水溶液的体积浓度为5-10％；所述乳化液的含油量为50-80vol％；所述乳化液为加德士安快达3380水溶性车削液。
6.根据权利要求1所述的溅射弧面加工方法，其特征在于，所述溅射弧面加工方法包括如下内容：
对钎焊完成的圆形钼靶材组件的溅射面先进行粗车削，控制粗车削的每一刀的进刀量为0.3-0.5mm，转动速度为200-300r/min，再进行精车削，控制精车削的每一刀的进刀量为0.03-0.04mm，转动速度为100-170r/min，加工得到圆形钼靶材组件的溅射弧面；
其中，所述圆形钼靶材组件的钼靶材纯度为99.995-99.999％；所述圆形钼靶材组件的背板为铜背板；所述钎焊的焊料为铟焊料；所述粗车削与所述精车削均采用车削液，所述车削液为体积浓度为5-10％的乳化液的水溶液，所述乳化液的含油量为50-80vol％；所述乳化液为加德士安快达3380水溶性车削液；
所述粗车削与所述精车削均采用的是卧式数控机床；所述卧式数控机床为台中精机VT22型号机床；所述粗车削与所述精车削的刀片型号为CCGX120404。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111164563.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
