[发明专利]晶硅太阳能电池变温扩散炉

说明书

本发明公开了一种晶硅太阳能电池变温扩散炉，涉及扩散炉技术领域。该晶硅太阳能电池变温扩散炉包括炉体，炉体上开设有炉口，炉口一侧的炉体上铰接设有用于封闭炉口的炉门，炉口呈圆形状设置，炉门上设有封闭件、辅助隔离件和锁紧件，封闭件包括形成于炉门上的固定环，固定环外滑移连接有形状与炉口相同的封闭环，用于在炉门封闭时滑移卡接在炉口外并封闭炉口，本发明能够在关闭扩散炉的炉门时，通过联动件带动封闭机构同步对其炉口进行封闭，一方面增加对炉口封闭时的隔热性，避免发生热量逸散，保证炉体内温度快速增长并维持平衡，另一方面能够提升炉口位置的气密性，从而防止炉体内经过高温后硅片或其他元件产生的有害气体泄露。

技术领域

本发明涉及及扩散炉技术领域，特别是涉及一种晶硅太阳能电池变温扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。

虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氢氧合成)两种，扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备。扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。

扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，更加有利于机械手传送硅片，片内工艺参数一致性更好。水平扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。

目前，公开号为CN107604444A的中国专利公开了一种硅片加热扩散炉，包括炉体和设置于炉体内的多根炉管，炉体上设有控制柜，炉管相互间隔的横向装设于炉体内，且炉管的两端设为炉口和炉尾，且炉口和炉尾于炉体上设有炉门。炉管的炉口、炉尾和炉管的中部分别设有加热元件，炉管内设有石英层，且炉管的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈，控制柜实时监控和控制炉体内的温度。

这种硅片加热扩散炉虽然可达到对炉口和炉尾保温的作用，防止其散热导致炉口，但这种扩散炉在使用时，其炉口由于炉门的存在，封闭不够良好，在生产过程中容易造成热量的逸散，同时由于高温条件，硅片容易产生有害气体，并从炉门位置泄露，从而对操作人员的身体健康造成一定损伤。

发明内容

本发明针对上述技术问题，克服现有技术的缺点，提供一种晶硅太阳能电池变温扩散炉。

为了解决以上技术问题，本发明提供一种晶硅太阳能电池变温扩散炉。

技术效果：能够在关闭扩散炉的炉门时，通过联动件带动封闭机构同步对其炉口进行封闭，一方面增加对炉口封闭时的隔热性，避免发生热量逸散，保证炉体内温度快速增长并维持平衡，另一方面能够提升炉口位置的气密性，从而防止炉体内经过高温后硅片或其他元件产生的有害气体泄露，以保证操作人员的身体健康。

本发明进一步限定的技术方案是：一种晶硅太阳能电池变温扩散炉，包括炉体，炉体上开设有炉口，炉口一侧的炉体上铰接设有用于封闭炉口的炉门，炉口呈圆形状设置，炉门上设有

封闭件，包括形成于炉门上的固定环，固定环外滑移连接有形状与炉口相同的封闭环，用于在炉门封闭时滑移卡接在炉口外并封闭炉口，炉口上设有形状与固定环匹配的连接环，炉门封闭时固定环嵌设于连接环内，且封闭环套设于连接环外；

辅助隔离件，包括两块关于固定环对称设置并滑移连接在炉门上的隔离块，隔离块呈半环形设置，其形状与封闭环贴合，炉门上设有联动件，包括转轮，用于通过旋转的方式带动两块隔离块相对或相背方向滑移，以辅助隔离或放开封闭环；