[发明专利]一种双脉冲LIBS步移平台测量方法

权利要求书

1.一种双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）由脉冲激光光源（1）发射的脉冲激光束，穿过测量平台上的第一分光镜（2）后，经过第二分光镜（3）进行分束，获得脉冲激光束I（18）和脉冲激光束II（19）；

2）脉冲激光束I从全反射镜X（4）背面穿过后，穿过第一聚焦镜（5）并汇聚到靶材（6）表面，在靶材表面形成等离子体云，产生击穿光谱；

3）脉冲激光束II经过多个反射镜反射后到达并通过全反射镜X反射，再经过第一聚焦镜汇聚到靶材表面，对步骤2）形成的等离子体云击穿光谱进行加强；

4）步骤3）加强后的离子体云击穿光谱通过第二聚焦镜（7）收集到ICCD（8）中，经过计算机（9）分析光谱信息；

5）步骤4）完成后，通过第一驱动电机带动靶材移动至下一位置，重复步骤1）至步骤4）。

2.根据权利要求1所述双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，步骤3）中，在经过第二分光镜与全反射镜X之间，还依次设有反射镜I（10）、反射镜II（11）、反射镜III（12）、反射镜IV（13）和反射镜V（14），脉冲激光束II依次经过反射镜I、反射镜II、反射镜III、反射镜IV和反射镜V后到达全反射镜X；其中，反射镜II和反射镜III位于同一支撑架上，并通过第二驱动电机带动该支撑架移动，使反射镜II和反射镜III同时靠近或者远离反射镜I和反射镜IV。

3.根据权利要求1所述双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，步骤1）中，在脉冲激光光源与第一分光镜之间还设有光阑（15），通过光阑对脉冲激光束进行限束。

4.根据权利要求1所述双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，第一分光镜的分光比至少为1:9，通过第一分光镜反射后的脉冲激光束到达第二分光镜进行分束，通过第一分光镜折射后的脉冲激光束到达激光功率计（16），对入射的脉冲激光功率进行实时监测。

5.根据权利要求1所述双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，第二分光镜的分光比为5:5。

6.根据权利要求1所述双脉冲LIBS步移平台测量方法，其特征在于，步骤5）中，第一驱动电机带动靶材在其所在平面内移动。