[发明专利]空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器

权利要求书

1.一种空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，该空气悬浮式振动控制装置具有：

振动基台，所述振动基台配置于设置面侧；

振动控制架台，所述振动控制架台配置成能够相对于所述振动基台水平自由地移动，并且载置振动控制对象物；及

空气供给阻断机构部，所述空气供给阻断机构部根据所述振动基台的振动，并通过来自空气源的空气供给或空气供给阻断，将所述振动控制架台相对于振动基台设成使所述振动控制架台呈可水平自由移动的悬浮状态或对所述振动基台的落座状态；

所述空气滑动器是作为所述空气悬浮式振动控制装置中的所述空气供给阻断机构部的一部分使用的所需数量的空气滑动器，其特征在于，

所述空气滑动器具备：

滑动器本体，所述滑动器本体设置于所述振动基台与所述振动控制架台之间，一侧为安装面，所述安装面被固定于所述振动基台或所述振动控制架台，并且在所述安装面的相反面的周壁部具有圆筒状突部，所述圆筒状突部在其本身和与所述振动基台或所述振动控制架台相接的面之间区划出空气室，而在空气供给阻断时，其端面会落座于所述相接的面；

空气流路，所述空气流路向所述空气室供给来自空气源的空气；及

空气泄漏防止用的密封材，所述密封材以遍及所述滑动器本体与所述相接的面而包围所述空气室的方式配置，且朝向具有所述圆筒状突部的滑动器本体的中心，并且以朝向所述相接的面具有角度的方式配置成倾斜状。

2.如权利要求1所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

所述滑动器本体中的空气室内或空气室的外侧或双方设有滑动材，所述滑动材用于辅助所述振动控制架台的相对于振动基台的滑动。

3.如权利要求1或2所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

通过用于辅助所述振动控制架台的相对于振动基台的滑动的滑动材来形成所述滑动器本体中的圆筒状突部的振动基台侧的部分，且在该滑动材的一部分与所述圆筒状突部的另一部分的接合部分夹住密封材的振动控制架台侧的端部。

4.如权利要求1或3所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

通过用于辅助所述振动控制架台的相对于振动基台的滑动的滑动材来形成所述滑动器本体中的圆筒状突部的振动基台侧的部分，且在该滑动材的一部分与所述圆筒状突部的另一部分的接合部分夹住密封材的振动控制架台侧的端部与黏弹性带状构件。

5.如权利要求1所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

通过用于辅助所述振动控制架台的相对于振动基台的滑动的滑动材来形成所述滑动器本体中的圆筒状突部的振动基台侧的部分，且在该滑动材的一部分与所述圆筒状突部的另一部分的接合部分夹住密封材的振动控制架台侧的端部，且将海绵状构件以接触所述振动基台的状态配置于空气室内。

6.如权利要求1所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

将用于辅助所述振动控制架台的相对于振动基台的滑动的滑动材设置于所述滑动器本体中的圆筒状突部的外侧。

7.如权利要求1至6中任一项所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

所述空气滑动器中的安装面、滑动器本体通过球面座接合到所述振动控制架台。

8.如权利要求1至7中任一项所述的空气悬浮式振动控制装置中的空气滑动器，其特征在于，

所述空气滑动器具有调平阀，该调平阀构成为具备：调平阀流路，所述调平阀流路以一端连通于空气源而以另一端通到阀室；接触件，所述接触件配置于阀室且配置成于具有间隙的位置与阀室内的底部分相接；及调平弹簧，所述调平弹簧固接于阀室的上表面与接触件的顶部且将接触件往下方推压，所述调平阀在所述滑动器本体与所述振动基台之间，将所述振动控制架台的高度保持成固定。