[发明专利]基板工艺系统

权利要求书

1.一种基板工艺系统，其特征在于，包括：

前端模块；

第一工艺线，其包括第一研磨线及第一清洗线；

第二工艺线，其包括第二研磨线及第二清洗线，和第一工艺线并列配置；

第一工作台，其位于第一清洗线及第二清洗线之间；

第一搬运机器人，其将基板从前端模块移送至第一工作台；

第二工作台，其位于第一研磨线及第二研磨线之间；

第二搬运机器人，其在第一清洗线、第二清洗线、第一工作台及第二工作台中至少任意两个位置之间对基板进行移送。

2.根据权利要求1所述的基板工艺系统，其特征在于，还包括：

第三搬运机器人，其在第二工作台、第一研磨线及第二研磨线中至少任意两个位置之间对基板进行移送。

3.根据权利要求2所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一研磨线及第二研磨线分别包括：

第一旋转部，其根据旋转以圆形形成第一移送轨道，在第一移送位置、第二移送位置及第三移送位置之间对基板进行移送；

第二旋转部，其根据旋转以圆形形成第二移送轨道，在第二移送位置及第一研磨位置之间对基板进行移送；

第三旋转部，其根据旋转以圆形形成第三移送轨道，在第三移送位置及第二研磨位置之间对基板进行移送；

第一研磨垫，其至少一部分在与第一研磨位置重叠的位置旋转；以及

第二研磨垫，其至少一部分在与第二研磨位置重叠的位置旋转。

4.根据权利要求3所述的基板工艺系统，其特征在于，

第二搬运机器人将研磨前基板从第一工作台移送至第二工作台。

5.根据权利要求4所述的基板工艺系统，其特征在于，

第三搬运机器人将研磨前基板从第二工作台移送至第一研磨线及第二研磨线中任意一个第一移送位置。

6.根据权利要求5所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一旋转部包括依次位于第一移送位置、第二移送位置及第三移送位置的至少一个第三工作台。

7.根据权利要求6所述的基板工艺系统，其特征在于，

第二旋转部包括交替位于第二移送位置及第一研磨位置的至少一个第一载体头，

第三旋转部包括交替位于第三移送位置及第二研磨位置的至少一个第二载体头。

8.根据权利要求7所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一研磨线及第二研磨线分别还包括：

第一装载部，其在第二移送位置将基板装载至第一载体头或从第一载体头卸载基板；以及

第二装载部，其在第三移送位置将基板装载至第二载体头或从第二载体头卸载基板。

9.根据权利要求8所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一装载部及第二装载部分别包括：

清洗喷嘴，其对位于第二移送位置或第三移送位置的第一载体头或第二载体头进行清洗。

10.根据权利要求1所述的基板工艺系统，其特征在于，

第二搬运机器人将完成研磨的基板从第一研磨线及第二研磨线中任意一个移送至第一清洗线及第二清洗线中任意一个。

11.根据权利要求10所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一搬运机器人将完成清洗的基板从第一清洗线及第二清洗线中任意一个移送至前端模块。

12.根据权利要求1所述的基板工艺系统，其特征在于，

第一清洗线及第二清洗线分别包括：

腔室部，其包括至少一部分沿竖直方向层叠的多个清洗腔室；

第四搬运机器人，其将基板从多个清洗腔室中至少任意一个向另一清洗腔室移送。