[发明专利]一种可重构加速度传感器

权利要求书

1.一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述加速度传感器包括：

衬底(1)；

折纸结构梁(2a)，设置在所述衬底上，所述折纸结构梁(2a)包括第一折叠薄膜结构(2b1)、第二折叠薄膜结构(2b2)、第三折叠薄膜结构(2b3)、第四折叠薄膜结构(2b4)，所述折纸结构梁(2a)通过第一V形梁(4a1)、第二V形梁(4a2)固定连接于所述衬底(1)；

悬浮电极(5)，所述悬浮电极(5)设置于所述衬底(1)与所述折纸结构梁(2a)之间，所述悬浮电极(5)的两端分别与第一弹簧结构(3a)和第二弹簧结构(3b)连接；

第一弹簧结构(3a)和第二弹簧结构(3b)分别通过第三V形梁(4a3)、第四V形梁(4a4)固定连接于所述衬底(1)；

其中，所述折纸结构梁(2a)的延伸方向与所述第一弹簧结构(3a)、第二弹簧结构(3b)的延伸方向相互交叉。

2.根据权利要求1所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第一折叠薄膜结构(2b1)、第二折叠薄膜结构(2b2)从所述折纸结构梁(2a)的上表面凹陷折叠。

3.根据权利要求1或2所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第三折叠薄膜结构(2b3)、第四折叠薄膜结构(2b4)从所述折纸结构梁(2a)的下表面凹陷折叠。

4.根据权利要求3所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第一折叠薄膜结构(2b1)、第二折叠薄膜结构(2b2)与所述第三折叠薄膜结构(2b3)、第四折叠薄膜结构(2b4)互相不重叠。

5.根据权利要求1所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第一V形梁(4a1)、第二V形梁(4a2)、第三V形梁(4a3)、第四V形梁(4a4)通过锚区固定连接于所述衬底(1)。

6.根据权利要求1所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第一弹簧结构(3a)和所述第二弹簧结构(3b)关于所述悬浮电极(5)对称设置。

7.根据权利要求1或6所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述悬浮电极(5)对应设置于所述折纸结构梁(2a)下方的中心区域。

8.根据权利要求1所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述折纸结构梁(2a)的两端分别连接于第一V形梁(4a1)、第二V形梁(4a2)的外凸顶点区域。

9.根据权利要求1或8所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述第一弹簧结构(3a)和第二弹簧结构(3b)分别连接于所述第三V形梁(4a3)、第四V形梁(4a4)的内凹顶点区域。

10.根据权利要求5所述的一种可重构的加速度传感器，其特征在于，所述锚区为导电输入端子，用于对所述第一V形梁(4a1)、第二V形梁(4a2)、第三V形梁(4a3)、第四V形梁(4a4)施加电流。