[发明专利]一种硒化锌晶体的表面预处理方法在审
| 申请号： | 202111174182.0 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113882022A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;刘荣娟;马杰;姜忠赛;张长华;王俊;沈德元;唐定远 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C30B33/00;C30B29/48 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 钱玲玲 |
| 地址： | 221116 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硒化锌 晶体 表面 预处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，包括以下步骤：
将硒化锌晶体表面抛光；
将抛光后的硒化锌晶体放入丙酮溶液中浸泡清洗后，用超纯水循环清洗硒化锌晶体；
将清洗后的硒化锌晶体放入烘箱中烘干；
将烘干后的硒化锌晶体放入等离子刻蚀机的等离子真空腔中，并用等离子体清洗硒化锌晶体表面；
将等离子体清洗后的硒化锌晶体置于氩气气氛的手套箱中，用封装袋对硒化锌晶体进行封装。
2.根据权利要求1所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述烘箱中温度为70 -80℃；所述烘干的时间为1-1.5小时。
3.根据权利要求1所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述等离子真空腔中的压力为0.1 ~ 0.4 mbar。
4.根据权利要求3所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述等离子真空腔中的压力为0.2 ~ 0.4 mbar。
5.根据权利要求1所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述等离子体为氩等离子体或氦等离子体。
6.根据权利要求1所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述等离子体清洗硒化锌晶体表面的时间为1-15分钟。
7.根据权利要求6所述的硒化锌晶体的表面预处理方法，其特征是，所述等离子体清洗硒化锌晶体表面的时间为10分钟。
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