[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器有效
| 申请号： | 202111175347.6 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113904653B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 赵坤丽;刘炎;罗天成;孙博文;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 滤波器 | ||
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，在所述衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，所述上电极在所述衬底的正投影的轮廓由四条曲线首尾相接而成，相邻两条所述曲线的连接处设置有弧形过渡，间隔设置的两条所述曲线不平行，每条所述曲线均包括顺次连接的多条子曲线，每条所述子曲线的起点至对应边的距离各不相等。
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，相邻两条所述曲线的连接点连线形成四边形，所述四边形的四条边与所述四条曲线一一对应。
3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，每条子曲线的起点的切线与对应边的夹角各不相等。
4.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，每条子曲线的起点的切线与对应边的夹角小于45°。
5.如权利要求2至4任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，每条所述曲线包括顺次连接的第一子曲线、第二子曲线和第三子曲线，所述第一子曲线、所述第二子曲线和所述第三子曲线之间的长度各不相等。
6.如权利要求5所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一子曲线的长度大于所述第三子曲线的长度，所述第三子曲线的长度大于所述第二子曲线的长度。
7.如权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一子曲线与所述第三子曲线的长度的差值为5μm至20μm，所述第三子曲线与所述第二子曲线的长度的差值为5μm至20μm。
8.如权利要求5所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一子曲线的起点的切线与对应边的夹角为37°，所述第二子曲线的起点的切线与对应边的夹角为42°，所述第三子曲线的起点的切线与对应边的夹角为40°。
9.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述上电极的形状与所述下电极的形状相同，所述压电层的形状与所述上电极的形状相同。
10.一种体声波滤波器，其特征在于，包括多个如权利要求1至9任一项所述的体声波谐振器，相邻两个所述体声波谐振器串联或并联。
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