[发明专利]一种电子束发射装置

说明书

本发明公开了一种电子束发射装置，旨在解决坩埚组件和电子束发射组件集成在一起，位置无法调整，使用不便的不足。该发明包括安装座、灯丝组件、磁场组件，灯丝组件包括灯丝、夹持座、整形罩，灯丝装夹在夹持座上部，整形罩套装在夹持座上部，灯丝置于整形罩内，灯丝两端通高压电，整形罩上端设有发射口；整形罩上安装电极罩，电极罩上端开口，电极罩下端设有和发射口对应的对接口；安装座上连接梭心，电极罩套装在梭心上，梭心内设有冷却流道；磁场组件包括电磁铁、分别安装在电磁铁两端的左磁轭和右磁轭，左磁轭和右磁轭上分别连接左极靴和右极靴，电极罩置于左极靴和右极靴的端部之间。

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜技术，更具体地说，它涉及一种电子束发射装置。

背景技术

电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。

在真空镀膜设备上，镀多层膜过程中需要使用多种镀膜材料。因此需要不同数量坩埚用于放置材料。但是现在的电子束蒸镀设备上的电子束发射装置直接固设了坩埚，坩埚数量和位置固定，坩埚组件和电子束发射组件集成在一起，位置无法调整，使用不便。

发明内容

为了克服上述不足，本发明提供了一种电子束发射装置，它与坩埚组件分离设置，便于调整坩埚的布设位置，而且便于控制磁场大小和磁极方向。

为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种电子束发射装置，包括。安装座、灯丝组件、磁场组件，灯丝组件包括灯丝、夹持座、整形罩，灯丝装夹在夹持座上部，整形罩套装在夹持座上部，灯丝置于整形罩内，灯丝两端通高压电，整形罩上端设有发射口；整形罩上安装电极罩，电极罩上端开口，电极罩下端设有和发射口对应的对接口；安装座上连接梭心，电极罩套装在梭心上，梭心内设有冷却流道；磁场组件包括电磁铁、分别安装在电磁铁两端的左磁轭和右磁轭，左磁轭和右磁轭上分别连接左极靴和右极靴，电极罩置于左极靴和右极靴的端部之间

电子束发射装置安装在真空镀膜设备上使用，工作时，灯丝通高压电，灯丝内部的部分电子获得足够的能量从表面逸出，灯丝发射的热电子经阴极与阳极间的高压电场加速并聚焦，由磁场使之偏转达到坩埚表面，蒸发材料。

采用电磁铁产生磁场，便于通过对电流的强度和方向的控制实现对磁场大小和方向的控制，以形成不同的磁场，满足不同的工矿要求，坩埚的安装位置可灵活调整。

整形罩罩住灯丝，用于电子束初始位置对电子束的聚拢及方向调整。而整形罩上安装了电极罩，电极罩进一步对电子束进行整形。电子束经发射口、对接口从左极靴和右极靴之间运动到坩埚位置。向梭心内的冷却流道通入冷却液，对电机罩、整形罩位置进行冷却。

这种电子束发射装置与坩埚组件分离设置，便于调整坩埚的布设位置，而且便于控制磁场大小和磁极方向。

作为优选，左磁轭和右磁轭上均连接有辅助极靴，两辅助极靴相对设置。辅助极靴可调整磁场方向和大小，进而调整电子束的运动轨迹。

作为优选，左极靴和右极靴均包括前置极靴、后置极靴，前置极靴高于后置极靴。

作为优选，两前置极靴间距从前往后逐渐增大，两后置极靴间距从前往后逐渐减小。这种结构设置使两前置极靴的间距小，磁场强度大，对电子束的作用力大，有利于电子束从电极罩向两前置极靴间运动。同理，两后置极靴后端的间距小，磁场强度大，对电子束的作用力大，有利于电子束向两后置极靴后端间运动汇聚，从而达到坩埚位置。

作为优选，前置极靴的前端设有朝向对面的前置极靴凸出的凸起，凸起边缘呈弧形。两凸起之间磁场强度大，有利于电子束的汇聚。