[发明专利]一种乙硅烷残气瓶处理装置

权利要求书

1.一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶（1），钢瓶（1）上连接有主管路（2），其特征在于，钢瓶（1）外侧设置有加热带（3），主管路（2）外端连接有真空泵（4），主管路（2）左侧连接有左支路（6），左支路（6）外端连接有换气罐（7），主管路（2）右侧连接有右支路（8），右支路（8）外端为排放口。

2.如权利要求1所述的一种乙硅烷残气瓶处理装置，其特征在于：钢瓶（1）与主管路（2）连接端设有开关阀（9），真空泵（4）与主管路（2）连接端设有抽真空阀（5）。

3.如权利要求1所述的一种乙硅烷残气瓶处理装置，其特征在于：换气罐（7）包括设有两个，换气罐（7）并联在左支路（6）上，换气罐（7）内分别储存有高纯氮气和高纯氦气，换气罐（7）上都设有供应阀（10）。

4.如权利要求1所述的一种乙硅烷残气瓶处理装置，其特征在于：右支路（2）上并联有排放阀（12）和减压排放阀（13）。

5.如权利要求1所述的一种乙硅烷残气瓶处理装置，其特征在于：右支路（2）上还设置有压力表（11）。

6.如权利要求1所述的一种乙硅烷残气瓶处理装置，其特征在于：所述加热带（3）为自动控温加热带，加热带（3）与钢瓶（1）之间可拆卸连接，加热带（3）包裹在钢瓶（1）外侧。