[发明专利]一种耐烧蚀陶瓷基复合材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202111176668.8 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113788708B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 陈昊然;于艺;杨良伟;李晓东;刘伟;孙同臣;张宝鹏;刘俊鹏;于新民 | 申请（专利权）人： | 航天特种材料及工艺技术研究所 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C04B35/80;C04B35/565;C04B35/56;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 谭辉 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 耐烧蚀 陶瓷 复合材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种耐烧蚀陶瓷基复合材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
将金属锆置于真空环境中，通入碳源气体，并加热至蒸发温度，然后对陶瓷基复合材料进行蒸镀，得到包含ZrC层的所述耐烧蚀陶瓷基复合材料；其中，所述ZrC层的厚度为20-30μm；
所述加热至蒸发温度，包括如下子步骤：
将所述金属锆置于蒸发源中，通入碳源气体，然后对所述蒸发源施加0.5-2A电流和500-1000V电压，以将所述蒸发源加热至所述蒸发温度；
所述蒸镀采用分子束外延生长法；
所述蒸发温度为1200-1700℃；
所述蒸镀的蒸镀时间为30-60min；
所述真空环境的真空压力为1×10-9-1×10-3Torr；
在所述通入碳源气体之后，真空环境的压力为1×10-7-1×10-3 Torr。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：
将所述耐烧蚀陶瓷基复合材料置于所述碳源气体的气氛中进行退火处理。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：
所述退火处理的温度为600-800℃；
所述退火处理的时间为5-10min；和/或
所述退火处理的压力为1×10-8-1×10-4 Torr。
4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于：
在所述对陶瓷基复合材料进行蒸镀之前，还包括对所述陶瓷基复合材料进行预处理的步骤：在真空压力为1×10-8-1×10-5Torr，温度为400-700℃的条件下进行退火处理10-30min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：
所述金属锆的纯度≥95%；
所述金属锆的粒径为0.1-50μm；和/或
所述碳源气体为选自CH4、C2H4、C2H2或C3H6中的至少一种。
6.一种耐烧蚀陶瓷基复合材料，其特征在于，采用权利要求1至5中任一所述的制备方法制备得到。
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