[发明专利]一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具

权利要求书

1.一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，包括柔性调整底台(1)、探头悬臂机构(2)、工控电脑(3)、压缩供气源(4)及遮光罩(5)，所述柔性调整底台(1)包括安装座(101)、多根顶针(102)、橡胶球(103)、安装气管(104)及电磁气阀(105)，所述安装气管(104)为多组且均匀固定排列在所述安装座(101)上，所述顶针(102)动密封连接在所述安装气管(104)的内部，所述橡胶球(103)固定在顶针的顶部且位于所述安装气管(104)的外侧，所述电磁气阀(105)的一端连接所述压缩供气源(4)，另一端通过进气管(10)与所述安装气管(104)连通控制所述安装气管(104)内部的充气量，所述电磁气阀(105)为多个且分别与所述工控电脑(3)电信号连接控制其开闭；

所述探头悬臂机构(2)包括光路探头(201)、悬臂(202)、升降杆(203)及伺服电机(204)，所述悬臂(202)水平连接在所述升降杆(203)的顶部边缘，所述光路探头(201)固定在所述悬臂(202)的一端，所述升降杆(203)滑动连接在所述安装座(101)上，所述伺服电机(204)固定在所述安装座(101)上且与所述升降杆(203)传动连接带动其升降，所述伺服电机(204)与所述工控电脑(3)电信号连接，所述遮光罩(5)适配盖设在所述安装座(101)上，所述遮光罩(5)的一侧开设观察口(9)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，还包括多个驱动板(8)，多根所述顶针(102)按照矩形排列布置，每根顶针分别适应动密封连接在安装气管内，对应每根所述安装气管(104)均连通有一个电磁气阀，多个电磁气阀形成一个驱动单元，一个驱动单元与一个驱动板电信号连接，多个所述驱动板(8)的MCU与所述电磁气阀(105)电连接，所述驱动板(8)通过RJ45网口与所述工控电脑(3)电信号连接。

3.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，所述压缩供气源(4)为气泵，且通过多通进气管与多个所述安装气管(104)连通，所述电磁气阀(105)分别一一对应连接在多通进气管的多个通路上。

4.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，所述顶针(102)由纯铜材质制成。

5.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，所述安装座(101)的一侧边缘开设有滑槽，所述升降杆(203)上下滑动连接在所述滑槽内，所述伺服电机(204)固定连接在安装座上且靠近所述滑槽的位置，所述升降杆(203)的一侧固定连接从动齿条(6)，所述伺服电机(204)的输出轴传动连接齿轮(7)，所述齿轮(7)与所述从动齿条(6)对应啮合带动所述升降杆(203)上下升降。

6.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，所述光路探头(201)垂直固定在所述悬臂(202)远离所述升降杆(203)的一端，所述光路探头(201)连接探测器，探测器的检测信息成像在所述工控电脑(3)上。

7.根据权利要求1所述的一种柔性自动调节测试膜厚的专用治具，其特征在于，所述遮光罩(5)为矩形，其适配盖设在所述安装座(101)上，所述探头悬臂机构(2)位于所述遮光罩(5)的内侧。