[发明专利]一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器

权利要求书

1.一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，包括衬底、第一掩膜板、第二掩膜板、波导芯层、锯齿电极、双触角信号电极、第一双触角地线电极、第二双触角地线电极、匹配电阻、第一信号输入口和第二信号输入口：

所述第一掩膜板和第二掩膜板间隔设置在衬底上，所述衬底、第一掩膜板和第二掩膜板形成槽状空间；

所述波导芯层设置在槽状空间的底部；

所述锯齿电极设置在波导芯层上方；

所述双触角信号电极分别与第一信号输入口、第二信号输入口和锯齿电极连接；

所述第一双触角地线电极分别与第二信号输入口和锯齿电极连接；

所述第二双触角地线电极分别与第一信号输入口和第二信号输入口连接；

所述匹配电阻的第一端与第二双触角地线电极连接，所述匹配电阻的第二端与双触角信号电极连接。

2.根据权利要求1所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，所述波导芯层的顶端表面形状与槽状空间的平面形状相同。

3.根据权利要求2所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，所述波导芯层包括光束输入区、光束过渡区和光束调制区，所述光束输入区和光束调制区均为长方形，所述光束过渡区为梯形，所述光束输入区的宽度小于光束调制区的宽度，所述光束过渡区起始端的宽度与光束输入区的宽度相等，所述光束过渡区末尾端的宽度与光束调制区的宽度相等。

4.根据权利要求3所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于：

所述双触角信号电极部分置于第一掩膜板上，所述双触角信号电极部分置于光束调制区一侧的靠近波导芯层的第二掩膜板上；

所述第一双触角地线电极置于第一掩膜板上，所述第一双触角地线电极部分置于光束调制区一侧的靠近波导芯层的第一掩膜板上；

所述第二双触角地线电极部分置于第一掩膜板上，所述第二双触角地线电极部分置于第二掩膜板上。

5.根据权利要求4所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，所述双触角信号电极上设有第一触角和第二触角，所述第一触角置于第一掩膜板远离波导芯层的位置，所述第一触角与第二信号输入口连接，所述第二触角置于第二掩膜板远离波导芯层的位置，所述第二触角与第一信号输入口连接，所述第一双触角地线电极上设有第三触角和第四触角，所述第三触角和第四触角均置于第一掩膜板远离波导芯层的位置，所述第三触角与第二信号输入口连接，所述第二双触角地线电极上设有第五触角和第六触角，所述第五触角置于第一掩膜板远离波导芯层的位置，所述第五触角与第二信号输入口连接，所述第六触角置于第二掩膜板远离波导芯层的位置，所述第六触角与第一信号输入口连接，所述匹配电阻的第一端与第六触角连接，所述匹配电阻的第二端与第二触角连接。

6.根据权利要求5所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，还包括波导芯层缓冲层，所述波导芯层缓冲层覆盖在波导芯层表面。

7.根据权利要求6所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，所述锯齿电极为等腰三角形锯齿电极。

8.根据权利要求7所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于，所述衬底为铌酸锂晶片，所述波导芯层为铌酸锂波导芯层，所述波导芯层缓冲层为二氧化硅层。

9.根据权利要求8所述一种基于电光材料光波导的光场倍频扫摆器，其特征在于：

当所述第一信号输入口输入第一调制信号，模式扫摆频率及幅度调制频率等于第一输入调制信号的频率；

当所述第二信号输入口输入第二调制信号，模式扫摆频率及幅度调制频率等于第二输入调制信号频率的二倍；

所述光场倍频扫摆器的驱动频率范围为1Hz-2.5GHz，光场模式扫摆频率为1Hz-5GHz。