[发明专利]一种紫外灯用反射冷镜保护装置及方法

说明书

本发明公开了一种紫外灯用反射冷镜保护装置及方法，装置包括保护罩；所述保护罩设置于紫外灯下方的反射冷镜所在平面的上方，且所述保护罩的尺寸能够覆盖整个所述反射冷镜，用于在拆卸所述紫外灯时使所述反射冷镜免受所述紫外灯掉落造成损伤或损坏。本发明结构简单，便于操作，能够在更换光源器件时对其下方的反射冷镜进行保护，使其免于受到上方的光源器件掉落对其造成损伤或损坏，保证紫外光源工作的可靠性能。

技术领域

本发明属于光刻机设备技术领域，具体涉及一种紫外灯用反射冷镜保护装置及方法。

背景技术

光刻机中核心器件之一的紫外光源通常采用紫外灯，并通过固定装置将其固定安装在灯室中，且紫外灯下方设置有反射冷镜。

如果紫外光源出现故障，需要对灯室中的紫外灯进行更换，现有通常是先打开灯室门，然后将固定装置打开，取下紫外灯；然而在更换过程中，存在因为疏忽造成紫外灯掉落的情况，此时掉落的紫外灯会对下方的反射冷镜造成损伤或损坏，从而导致光线不能正确可靠的传递。

发明内容

因此，为了解决现有更换紫外灯会造成对其下方的反射冷镜造成损伤或损坏的问题，本发明提供了一种紫外灯用反射冷镜保护装置及方法。

本发明通过下述技术方案实现：

一种紫外灯用反射冷镜保护装置及方法，包括：保护罩；

所述保护罩设置于紫外灯下方的反射冷镜所在平面的上方，且所述保护罩的尺寸能够覆盖整个所述反射冷镜，用于在拆卸所述紫外灯时使所述反射冷镜免受所述紫外灯掉落造成损伤或损坏。

优选的，本发明的保护罩一端通过固定结构固定连接在所述紫外灯灯室的灯室门上；所述保护罩相对的另一端通过弹性结构连接在所述灯室的一内侧壁上；

所述内侧壁为与所述灯室门相对的一侧壁。

优选的，本发明的保护罩由镂空区域和遮挡区域构成；

其中，所述镂空区域和遮挡区域的尺寸能够分别覆盖整个所述反射冷镜。

优选的，本发明的保护罩靠近所述镂空区域的一端与灯室门固定连接，所述保护罩靠近所述遮挡区域的一端通过弹性结构与灯室一内侧壁连接；所述镂空区域位于所述反射冷镜的正上方，即不遮挡所述反射冷镜。

优选的，本发明的弹性结构采用弹簧。

优选的，本发明的保护罩采用不锈钢材料。

另一方面，本发明还提出了基于上述保护装置的方法，包括：

将所述保护罩安装在灯室内；

在紫外灯正常工作时，将所述保护罩移动至远离所述反射冷镜的位置，使其不对所述反射冷镜进行遮挡保护；

在更换所述紫外灯之前，将所述保护罩移动至所述反射冷镜的正上方，使其能够覆盖整个所述反射冷镜以保护所述反射冷镜。

优选的，本发明的将所述保护罩安装在灯室内具体为：

通过固定装置将所述保护罩的一端固定连接在所述灯室的灯室门上；

通过弹性结构将所述保护罩的另一端连接在所述灯室的一内侧壁上，且所述保护罩位于所述反射冷镜所在平面的上方；

且所述内侧壁为与所述灯室门相对的一侧壁。

优选的，本发明的将所述保护罩移动至远离所述反射冷镜的位置具体为：

关闭所述灯室门，则所述保护罩在所述弹性结构的带动下移动至远离所述反射冷镜的位置。

优选的，本发明的将所述保护罩移动至所述反射冷镜的正上方具体为：