[发明专利]一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法

权利要求书

1.一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

1)对待检样品使用扫描电子显微镜结合X射线能谱仪进行元素面分析，选择扫描电镜加速电压、X射线能谱数据采集死时间和全部信号采集时间进行数据采集；

2)通过面扫描的数据采集模式获取各个组成元素特征X射线强度面分布二维数据，并存储为设定格式的文件；

3)通过Python脚本读取步骤2)所述设定格式的文件，对文件里二维数据中相同坐标位置上各个元素特征X射线强度进行归一化无量纲计算，得到所述待检样品各个组成元素特征X射线强度比率的面分布数据结果；

4)绘制各个元素X射线强度比率面分布的频数分布直方图，获得波峰及波谷处对应的X射线强度比率值；

5)设定各个元素特征X射线强度比率面分布的成像阈值，生成各个元素在相应阈值范围内的元素面分布图。

2.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤1)中待检样品为导电性良好、且能够用扫描电子显微镜结合X射线能谱仪进行检测的样品。

3.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤1)实验过程中使用的扫描电镜入射电子束能量不低于待检样品中待测最高特征X射线能量值的2倍。

4.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤1)中X射线能谱仪死时间在10％-50％范围内。

5.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤1)中X射线能谱面分布信号采集时间不低于300s。

6.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤2)中设定格式的文件为tsv格式文件，并以元素符号命名。

7.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤3)中Python脚本为：

8.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤4)中波峰对应的X射线强度比率值在(0，1)区间内。

9.根据权利要求1所述的一种基于X射线能谱微区面扫描的图像处理方法，其特征在于，所述步骤5)中设定各个元素特征X射线强度比率面分布的成像阈值，设定规则为：确定波峰位置，该波峰两侧的波谷对应的X射线强度比率值为该波峰的成像阈值起始点。