[发明专利]一种真空镀膜机的旋转载片装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的旋转载片装置，包括上腔体和转动安装于上腔体的自转架，所述自转架上设置有至少两圈用于固定基片的固定槽，所述上腔体上设置有驱动自转架旋转的旋转动力装置，所述固定槽包括同心设置的若干个内圈固定槽和若干个外圈固定槽，其特征在于：所述自转架包括球面状的架体，所述架体的球心与真空镀膜机的靶材位置重合，所述架体的顶部中心设置有连接法兰，所述旋转动力装置的动力端与连接法兰可拆卸连接，所述上腔体上设置有尺寸大于自转架直径的换片口，所述换片口上可拆卸固定有换片门，所述上腔体上设置有遮挡部分内圈固定槽和部分外圈固定槽的遮挡装置，该遮挡装置遮挡外圈固定槽的面积大于遮挡内圈固定槽的面积。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述连接法兰包括筒体和设置于筒体上的下连接法兰部和上连接法兰部，所述架体的旋转中心处设置有插入孔，所述筒体由上而下插入所述插入孔内且下连接法兰与架体螺栓固定，所述旋转动力装置的动力端上设置有挂杆，所述上连接法兰与所述挂杆可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述挂杆包括连接杆部和设置于连接杆部下部的第一钩挂杆部和第二钩挂杆部，第一钩挂杆部和第二钩挂杆部之间的间距大于上连接法兰的间距，所述第一钩挂杆部和第二钩挂杆部的下部分别设置有第一挂钩部和第二挂钩部，所述上连接法兰放置于第一挂钩部和第二挂钩部上且通过压板螺栓固定。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述第一挂钩部和第二挂钩部的上表面设置有方便上连接法兰放置的定位凹槽。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述遮挡装置包括若干个固定于上腔体上的支座，每个支座上均摆动安装有摆杆，所述摆杆上固定有用于遮挡片，所述遮挡片径向延伸，遮挡片上具有用于遮挡外圈固定槽的外遮挡部和用于内圈固定槽的内遮挡部，外遮挡部的面积大于内遮挡部的面积，所述摆杆由偏摆动力装置驱动偏摆。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述偏摆动力装置包括竖直安装于上腔体上的直线动力装置，所述直线动力装置的输出端固定有驱动齿条，所述摆杆的一端设置有与驱动齿条啮合的齿轮，所述支座上设置有限制摆杆摆动角度的限位结构。

7.如权利要求6所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述限位结构包括设置于支座上的上限位块和下限位块，所述驱动齿条上设置有伸入到上限位块和下限位块之间的限位凸起。

8.如权利要求7所述的一种真空镀膜机的旋转载片装置，其特征在于：所述直线动力装置为气缸，所述气缸固定于镀膜腔的上腔体顶部，所述上腔体的内部固定有保护套，所述支座连接于保护套的下端，所述气缸的活塞杆伸入到保护套内。