[发明专利]一种光敏剂及含其的i线光刻胶和制备方法

权利要求书

1.一种i线光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，其包括下列步骤：将i线光刻胶组合物中的各组分混合均匀即可，所述的i线光刻胶组合物包括以下组分：酚醛树脂、光敏剂、有机硅流平剂和有机溶剂；

其中，光敏剂由光敏剂A和光敏剂B组成；所述光敏剂A和光敏剂B的结构如下所示：

所述酚醛树脂为酚醛树脂A和酚醛树脂B的至少一种；

所述酚醛树脂A的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚、3，5-二甲酚和甲醛进行反应得到；

所述酚醛树脂B的制备方法包括下列步骤：在草酸的作用下，将间甲酚、对甲酚和甲醛进行反应得到；

所述有机硅流平剂可为聚甲基苯基硅氧烷。

2.如权利要求1所述的i线光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，

所述光敏剂A以重量份数计为10-20份；

和/或，所述光敏剂B以重量份数计为5-10份；

和/或，所述酚醛树脂以重量份数计为80-100份；

和/或，所述有机硅流平剂在所述i线光刻胶组合物中的浓度为500-2000ppm；

和/或，所述有机溶剂以重量份数计为450-800份。

3.如权利要求2所述的i线光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，

所述光敏剂A以重量份数计为10-17份或10-15份；

和/或，所述光敏剂B以重量份数计为5份；

和/或，所述酚醛树脂以重量份数计为80份；

和/或，所述有机硅流平剂在所述i线光刻胶组合物中的浓度为500ppm、1000ppm或2000ppm；

和/或，所述有机溶剂以重量份数计为450份。

4.如权利要求1-3任一项所述的i线光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，

所述酚醛树脂为酚醛树脂A、酚醛树脂B或酚醛树脂A和酚醛树脂B的组合；当所述酚醛树脂为酚醛树脂A和B的组合时，酚醛树脂A和酚醛树脂B的质量比优选2:7-7:2；

和/或，所述有机硅流平剂的重均分子量为3000-6000；

和/或，所述有机溶剂为醚类溶剂、酯类溶剂、酰胺类溶剂、芳烃类溶剂和酮类溶剂的一种或多种。

5.如权利要求4所述的i线光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，

所述醚类溶剂为乙二醇单甲醚、丙二醇甲醚、苯甲醚、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚和二缩乙二醇乙醚中的一种或多种；

和/或，所述酯类溶剂为丙二醇单甲醚乙酸酯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、乳酸乙酯和γ-丁内酯中的一种或多种；

和/或，所述酰胺类溶剂为二甲基乙酰胺；

和/或，所述芳烃类溶剂为二甲苯；

和/或，所述酮类溶剂为N-甲基吡咯烷酮。