[发明专利]一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构

说明书

本发明公开了一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，涉及太阳能电池片管式PECVD镀膜设备技术领域，包括炉尾舟本体和炉口舟本体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上设置有陶瓷杆本体，所述陶瓷杆本体设置为两个，两个所述陶瓷杆本体位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阴极导电石墨块。本发明通过阴极导电石墨块和阳极导电石墨块的具体位置设计，使得炉口舟本体采用舟脚电极结构，即电极由炉口引入，直接在炉口两边，配合石墨舟导电更改实现，两个电极在都在炉口位置，无需引入到炉管中，避免了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，降低热延伸量，减少生产时的不稳定因数，便于在发生异常时对其进行维护。

技术领域

本发明涉及一种石墨舟前电极改造结构，涉及太阳能电池片管式PECVD镀膜设备技术领域，具体涉及一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构。

背景技术

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，这个工序使用到石墨舟，把硅片插到石墨舟中，通过等离子化学气相淀积，在硅片表面淀积一层深蓝色氮化硅膜，石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的镀膜后颜色及转换效率，其工作原理为：将未镀膜的硅片插在石墨舟片的工艺点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。针对现有技术存在以下问题：

1、现有的管式PECVD镀膜设备为双舟结构，炉口舟电极由尾部引入，在炉管内依靠陶瓷杆固定支撑引到炉口舟斜对角舟脚上，依靠导电石墨块一和导电石墨块二与舟脚接触实现将射频电源两极分别引到炉口舟的舟脚上，这样就导致了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长，热延伸量大，造成移位，增加了不稳定因数，导电石墨块在炉管中间位置，发生异常不易维护；

2、现有的管式PECVD镀膜设备导电电极外石英套与炉内支撑杆间隙处易卡碎，清理维护不便，导电电极外石英套管较多，石英套没法完全遮挡电极及套管易损坏，造成异常的问题。

发明内容

本发明提供一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其中一种目的是为了具备舟脚电极结构，解决导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题；其中另一种目的是为了解决电极外石英套与炉内支撑杆间隙处易卡碎的问题，以达到便于后续维护的效果。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，包括炉尾舟本体和炉口舟本体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上设置有陶瓷杆本体，所述陶瓷杆本体设置为两个，两个所述陶瓷杆本体位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阴极导电石墨块，另一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阳极导电石墨块，所述阴极导电石墨块、阳极导电石墨块距离炉口舟本体的距离均设置为550毫米，所述阴极导电石墨块、阳极导电石墨块设置在同一水平线上。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述陶瓷杆本体的两端均固定安装有陶瓷杆支撑座，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上均固定安装有第一凹槽固定块，所述陶瓷杆支撑座的外壁活动连接在第一凹槽固定块的内壁上，所述第一凹槽固定块远离陶瓷杆支撑座的一侧螺纹连接有第一固定销钉，所述第一固定销钉靠近陶瓷杆支撑座的一端延伸至陶瓷杆支撑座的内部。

本发明技术方案的进一步改进在于：所述炉口舟本体的内壁上固定安装有第二凹槽固定块，所述第二凹槽固定块设置为两个，所述第二凹槽固定块的正面活动连接有连接法兰，所述第二凹槽固定块的背面螺纹连接有第二固定销钉，所述第二固定销钉的正面延伸至连接法兰的内部，所述连接法兰远离第二凹槽固定块的一端分别与阴极导电石墨块和阳极导电石墨块固定连接。