[发明专利]无接触式无腊晶圆下片机

权利要求书

1.无接触式无腊晶圆下片机，包括支撑架(4)、转台(64)、旋转吸盘(63)和倾角驱动气缸(71)，其特征在于：所述支撑架(4)内侧设有取放台(5)，所述靠近取放台(5)的一侧停靠有负载小车(1)，所述负载小车(1)上设有放置槽(101)，所述放置槽(101)上放置有陶瓷盘(2)，所述取放台(5)一侧的支撑架(4)固定安装有淋喷头(3)，所述取放台(5)上表面固定连接滑槽(53)，所述滑槽(53)内侧滑动连接限位吸盘(54)底部周侧，所述滑槽(53)两侧的取放台(5)上表面固定安装有第一阻停气缸(52)和电动轮毂(51)，所述支撑架(4)内侧板上表面铰接连接远离取放台(5)一侧的倾斜台(7)底部，所述倾斜台(7)固定安装有转台(64)。

2.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述电动轮毂(51)对称设置在第一阻停气缸(52)内侧。

3.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述倾斜台(7)上表面设有若干组辅助滚轮(61)。

4.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述倾斜台(7)下表面靠近取放台(5)一侧的下表面连接铰接连接倾角驱动气缸(71)顶部，所述倾角驱动气缸(71)底部铰接连接支撑架(4)内侧板。

5.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述旋转吸盘(63)底部连通负压泵(62)。

6.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述下坡道(8)远离取放台(5)一侧底部向下倾斜，且下坡道(8)底部设有存放槽(9)。

7.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述转台(64)顶部卡接有旋转吸盘(63)。

8.根据权利要求1所述的无接触式无腊晶圆下片机，其特征在于：所述倾斜台(7)上表面安装有若干第二阻停气缸(6)，且第二阻停气缸(6)在转台(64)外侧。