[发明专利]复合压电材料、自聚焦式复合压电薄膜、超声换能器及其制备方法在审
申请号: | 202111196874.5 | 申请日: | 2021-10-14 |
公开(公告)号: | CN114023874A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 任丹阳;施钧辉;尹永刚;陈睿黾;李驰野 | 申请(专利权)人: | 之江实验室 |
主分类号: | H01L41/18 | 分类号: | H01L41/18;H01L41/047;H01L41/37;H01L41/08 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 应孔月 |
地址: | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 复合 压电 材料 自聚焦 薄膜 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
1.一种复合压电材料,其特征在于,该材料主要由有机压电相、无机压电相颗粒及掺杂相复合而成,所述的无机压电相颗粒为导电相@无机压电相异质结颗粒,所述掺杂相能与所述有机压电相中的极性原子形成氢键。
2.根据权利要求1所述的复合压电材料,其特征在于,通过原位光场还原法或电沉积法合成导电相@无机压电相异质结颗粒;所述掺杂相选自氧化石墨烯、羟基化或羧基化的单壁或多壁碳纳米管。
3.根据权利要求1所述的复合压电材料,其特征在于,所述有机压电相的质量百分比为40-60wt%,无机压电相颗粒的质量百分比为30-50wt%,掺杂相的质量百分比为1-20wt%。
4.一种权利要求1所述的复合压电材料的制备方法,其特征在于,包括:
将有机压电相溶解于有机分散溶剂中,再加入掺杂相,搅拌,使分散均匀,得到分散剂/掺杂相/有机压电相复合溶液;
向所述分散剂/掺杂相/有机压电相溶液中加入无机压电相颗粒,搅拌、超声分散,得到的掺杂相/有机压电相/导电相@无机压电相的复合压电材料前驱体溶液;
将所述复合压电材料前驱体溶液至固化后,得到复合压电材料。
5.一种自聚焦式复合压电薄膜,其特征在于,该薄膜的形状为小于二分之一的半球面,该薄膜的材质为权利要求1-3任一项所述的复合压电材料。
6.一种自聚焦式复合压电薄膜的制备方法,其特征在于,包括:
将有机压电相溶解于有机分散溶剂中,再加入掺杂相,搅拌,使分散均匀,得到分散剂/掺杂相/有机压电相复合溶液;
向所述分散剂/掺杂相/有机压电相溶液中加入无机压电相颗粒,搅拌、超声分散,得到的掺杂相/有机压电相/导电相@无机压电相的复合压电材料前驱体溶液;
将所述的复合压电材料前驱体溶液倒入半球型薄膜模具中,以成型为自聚焦式复合薄膜;将所述聚焦式压电薄膜进行梯度热处理,而后脱模,得到自聚焦式复合压电薄膜。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述半球型薄膜模具为一个类似于凹透镜的半球型盛具,间隔固定平行空隙,而后放置与之形状匹配的半球作为填充压制模具。
8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述梯度热处理包括:
在40-50℃下热处理5-8h;而后在65-75℃下热处理4-6h;而后在85-95℃下热处理3-5h;而后在100-120℃下热处理2-5h。
9.一种超声换能器,其特征在于,包括:
权利要求5所述的自聚焦式复合压电薄膜;
第一电极层,所述第一电极层分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的内表面;及
第二电极层,所述第二电极层分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的外表面。
10.一种超声换能器的制备方法,其特征在于,包括:
取权利要求5所述的自聚焦式复合压电薄膜,在所述自聚焦式复合压电薄膜内、外表面分别溅射第一电极层和第二电极层,而后进行极化,从分别从所述第一电极层和第二电极层引出极耳,得到自聚焦式的超声换能器。
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