[发明专利]一种基于CRDS和标准气体的动态气体稀释仪评定方法和装置

权利要求书

1.一种基于CRDS和标准气体的动态气体稀释仪评定装置，其包括：零气和目标气体，所述零气位于第一气体容器中，所述目标气体位于第二气体容器中；气体稀释仪，在所述气体稀释仪上具有零气进气口和目标气体进气口，在所述第一气体容器和所述零气进气口之间设置第一管路，在所述第二气体容器和所述目标进气口之间设置第二管路，所述零气通过第一管路进入到所述气体稀释仪中，所述目标气体通过第二管路进入到所述稀释仪中；

所述气体稀释仪还包括零气质量流量计、目标气体质量流量计、混合室和气体稀释仪出气口，所述零气质量流量计对零气的流量进行控制，所述目标气体质量流量计对多数目标气体的流量进行控制，所述零气和目标气体在所述混合室内进行混合，之后通过所述气体稀释仪出气口进入到CRDS检测装置进气口。

CRDS检测装置的进气口通过第三管道与所述气体稀释仪的出气口连接，在所述第三管道中设置有三通阀，第一验证标气、第二验证标气和第三验证标气通过管路连接到所述三通阀。

2.如权利要求1所述的基于CRDS和标准气体的动态气体稀释仪评定装置，其特征在于：所述CRDS检测装置进一步包括有CRDS检测装置出气口。

3.如权利要求1所述的基于CRDS和标准气体的动态气体稀释仪评定装置，其特征在于：在所述第三管道中设置有三通阀，第一验证标气12、第二验证标气13和第三验证标气14通过管路连接到所述三通阀。

4.如权利要求1所述的基于CRDS和标准气体的动态气体稀释仪评定装置，其特征在于：所述标准气体为CO₂标准气体。

5.一种采用权利要求1-4任一项的动态气体稀释仪评定装置的评定方法，其特征在于：

步骤一、将目标气体通过气体稀释仪稀释n₁倍，通过零气将所述目标气体进行稀释，所述目标气体与零气在混合室中进行充分混合，获得被稀释n₁倍的目标气体；

步骤二、通过气体稀释仪出气口输入至CRDS检测装置进气口，待CRDS检测装置示值稳定后，记录其示值C₂；然后将第一验证标气输入至CRDS检测装置进气口，待CRDS检测装置示值稳定后，记录其示值C₁；

步骤三、设稀释n₁倍后通入CRDS检测装置时，CRDS的示值理论值为C′₂，则可计算：

式中n′₁为实际稀释倍数，对气体稀释仪的质量流量控制器标定得到，

比较：与标气1的不确定度U_rel，

若则认为气体稀释仪在稀释倍数为n₁时，稀释能力可靠；反之，则不可靠。

6.如权利要求5所述的评定方法，其特征在于：对所述目标气体稀释n₂倍，n₃倍进行评定。