[发明专利]面内滑动式微镜以及激光雷达

权利要求书

1.面内滑动式微镜，其特征在于：包括基底、设于所述基底上的镜面部件、设于所述基底和所述镜面部件之间的滑动部件以及用于驱动所述滑动部件运动的驱动部件，所述镜面部件包括反射面，所述反射面具有至少两个反射角度，所述滑动部件带动所述镜面部件于所述基底上滑动并切换反射角度。

2.如权利要求1所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述滑动部件包括至少一个超滑片，所述超滑片具有至少一个超滑面，所述基底具有原子级平整表面，所述超滑面贴合于所述原子级平整表面上。

3.如权利要求2所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述基底还包括绝缘层，所述滑动部件设于所述绝缘层上，且所述绝缘层具有原子级平整表面，所述超滑片与所述绝缘层超滑接触。

4.如权利要求2所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述超滑片远离所述基底的一侧面与所述镜面部件固定连接。

5.如权利要求1所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述镜面部件还包括支撑部件，所述反射面设于所述支撑部件上。

6.如权利要求1至5任一项所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述反射面采用多棱反射镜面，所述多棱反射镜面包括至少两个平整反射面，且所述平整反射面依次拼接。

7.如权利要求1至5任一项所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述反射面采用弧形镜面、球形镜面或不规则曲率镜面。

8.如权利要求1所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述驱动部件采用电驱动，所述驱动部件设于所述基底的内部或设于所述基底的底部。

9.如权利要求8所述的面内滑动式微镜，其特征在于：所述驱动部件包括至少两个驱动电极。

10.激光雷达，其特征在于：包括发射元件、接收元件以及如权利要求1至9任一项所述的面内滑动式微镜，所述面内滑动式微镜朝向所述发射元件或所述接收元件。