[发明专利]内设储水槽的MEMS充油压力传感器在审
| 申请号： | 202111203558.6 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113739980A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 单建利;陈军 | 申请（专利权）人： | 深圳瑞德感知科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/18 | 分类号： | G01L7/18;G01L19/04 |
| 代理公司： | 深圳市壹壹壹知识产权代理事务所(普通合伙) 44521 | 代理人： | 师勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内设 储水 mems 油压 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种内设储水槽的MEMS充油压力传感器，包括焊环、金属膜片、基座、钢球、通气管，焊环、金属膜片、基座、钢球焊接形成一个密闭的下腔体，下腔体内填充硅油，下腔体内通过密封硅胶粘接有压力芯片，基座上设有电路板，压力芯片连接电路板，通气管末端外接软管，电路板上设有引线，其特征在于，电路板与基座之间形成上腔体，基座上开设有连通压力芯片背面和上腔体的通气孔，通气管前端穿过电路板连通上腔体，基座上对应上腔体底部处设有与通气管对应的储水槽。
2.如权利要求1所述的内设储水槽的MEMS充油压力传感器，其特征在于，通气管前端延伸至储水槽内。
3.如权利要求2所述的内设储水槽的MEMS充油压力传感器，其特征在于，通气管前端为斜口。
4.如权利要求1所述的内设储水槽的MEMS充油压力传感器，其特征在于，储水槽为绕通气孔一周的环形的凹槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳瑞德感知科技有限公司，未经深圳瑞德感知科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111203558.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水表计量检定装置
- 下一篇：一种碳纤维回收工段二甲基亚砜测量方法和装置
