[发明专利]一种基于等离子体改性提升软质金属表面加工质量的方法

权利要求书

1.一种基于等离子体改性提升软质金属表面加工质量的方法，其特征在于：

利用等离子体中的高密度、高能活性粒子与软质金属表面亚表面材料发生热效应实现快速熔化，再冷却后形成晶粒融合改性层，该晶粒融合改性层的晶粒发生融合，晶粒尺寸增大，晶界状态得到调制，提升了材料的可加工性，所述表面加工为超精密车削、超精密飞切、超精密铣削、超精密磨削、超精密刨削以及超精密抛光的一种或两种以上加工方式的组合，所述软质金属为铅、锡、锌、镁、银、金、铝或铜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的等离子体加工工艺参数为：射频电源功率13.56MHz-2.45GHz，等离子体改性气体采用氦气或氩气或氮气或氧气或双氧水。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述冷却包括空冷或乙醇喷涂或液氮冷却或水冷的一种或两种以上方式的组合，冷至加工所需温度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在实施等离子体改性处理前，对软质金属进行预处理，去除表面氧化层。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：针对不同尺寸的样件等离子体表面处理采用子口径局部处理方式或者整面处理的方式。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：可对样件进行多次不同功率、不同加工时间的等离子体改性处理调制。