[发明专利]一种离轴自动调焦装置及方法

权利要求书

1.一种离轴自动调焦装置，其特征在于，包括：

工件台，所述工件台包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面用于承载被加工物料；

调焦模块，位于所述被加工物料远离所述工件台的一侧，所述调焦模块和所述工件台在第二方向上具有相对运动；

所述调焦模块包括至少一个测焦单元、调焦单元和加工单元，至少一个所述测焦单元和所述加工单元均安装在所述调焦单元上，所述测焦单元用于在所述调焦模块和所述工件台相对运动过程中，测量所述被加工物料的表面面型起伏数据；所述调焦单元用于根据所述被测加工物料的表面面型起伏数据、所述测焦单元和所述加工单元之间的位置关系，以及所述调焦模块和所述工件台在所述第二方向上的相对运动速度，同时调整所述加工单元和所述测焦单元沿第一方向的高度，以使所述被加工物料的被加工面始终处于所述加工单元的焦面上，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直且平行于所述第一表面指向所述第二表面的方向。

2.根据权利要求1所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述测焦单元的测量面与所述加工单元的焦面共面。

3.根据权利要求1所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述工件台承载所述被加工物料沿第二方向移动，所述第二方向构成的路径为弓字型路径或之字型路径。

4.根据权利要求3所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述调焦模块包括第一测焦单元，所述第一测焦单元位于所述加工单元的一侧，所述第一测焦单元和所述加工单元沿所述第二方向排列，所述第一测焦单元的测量点和所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行。

5.根据权利要求3所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述调焦模块包括第一测焦单元和第二测焦单元，所述第一测焦单元、所述加工单元、所述第二测焦单元依次沿所述第二方向排列，所述第一测焦单元和所述第二测焦单元分别位于所述加工单元的两侧，所述第一测焦单元的测量点、所述第二测焦单元的测量点和所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行。

6.根据权利要求3所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述调焦模块包括第一测焦单元和第二测焦单元，所述第一测焦单元与所述第二测焦单元沿第三方向排列，所述第一测焦单元和所述第二测焦单元均位于所述加工单元的一侧，所述第一测焦单元的测量点和所述第二测焦单元的测量点的连线中点与所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行，其中，所述第三方向分别与所述第二方向和所述第一方向垂直。

7.根据权利要求3所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述调焦模块包括第一测焦单元、第二测焦单元和第三测焦单元，所述第一测焦单元位于所述加工单元的一侧，所述第二测焦单元和所述第三测焦单元位于所述加工单元的另一侧，所述第二测焦单元和所述第三测焦单元沿第三方向排列，所述第一测焦单元的测量点与所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行，所述第二测焦单元的测量点和所述第三测焦单元的测量点的连线的中点与所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行，所述第三方向分别与所述第二方向和所述第一方向垂直。

8.根据权利要求3所述的离轴自动调焦装置，其特征在于，所述调焦模块包括第一测焦单元、第二测焦单元、第三测焦单元和第四测焦单元，所述第一测焦单元和所述第二测焦单元分别位于所述加工单元的一侧，所述第三测焦单元和所述第四测焦单元分别位于所述加工单元的另一侧，所述第一测焦单元的测量点和所述第二测焦单元的测量点的连线的中点与所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行，所述第三测焦单元的测量点和所述第四测焦单元的测量点的连线的中点与所述加工单元的加工点的连线与所述第二方向平行。